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科晶真空旋轉涂膜機

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號VTC-100PA

品       牌其他品牌

廠商性質經銷商

所  在  地北京市

更新時間:2025-02-17 09:54:34瀏覽次數:1545次

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產地類別 國產 應用領域 化工,能源,電子/電池,航空航天
VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

產品概述:

VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

主要特點:

  • 真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
  • 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。
  • 根據樣件規格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
  • 設有12組程序,每組包含6個運行階段。
  • 電機啟動快速穩定,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
  • 50W/24V 直流電機
  • 適于在Ar氣環境中工作(真空泵放置在手套箱外)

參數

  • 電機功率:50W/24V
  • 速度范圍:500-10000rpm
  • 程序運行:可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段
  • 增減速率設置范圍:100rpm/s-2000rpm/s
  • 時間范圍:0-60s
  • 吸盤:Φ19mm、Φ60mm

進氣口上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體,實現在氣氛環境下旋轉涂覆

可選加熱部分:上蓋內部增加紅外燈管加熱,采用K型熱偶測溫,數字溫控器控溫,*高120℃,可使得樣品涂覆后原位烘干,用于薄膜太陽能電池等研究。

產品規格

  • 尺寸:450mm×280mm×340mm;
  • 重量:20kg

 

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