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超純水設備是指制取各行業所需要的超純水的水處理設備，以水處理預處理、反滲透技術、EDI技術、超純化處理和后級處理等工藝為核心技術。一般用于太陽能光伏、電子半導體、線路板電路板、高科技精細產品等行業。它的產水水質有如下要求：將水中的電解質幾乎*去除（電阻率>15MΩNaN）、水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度、超純水水質分為五個行業標準，分別為18MΩNaN、15MΩNaN、10MΩNaN、2MΩNaN、0.5MΩNaN，以區分不同水質。

超純水處理設備的工藝流程大致分成以下幾種：

1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。

2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點。

3、采用反滲透水處理設備與電去離子（EDI）設備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點。