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詳細(xì)介紹
物鏡378-166-1三豐Mitutoyo顯微鏡FS70ZD
FS70Z
※目鏡、左輪、物鏡是可選擇的。
?具有接眼觀察部的小型顯微鏡單元
是金屬表面、半導(dǎo)體、液晶、樹脂等多種多樣的觀察對象。
?適用于YAG激光器（近紅外、可見、近紫外線、紫外線）的微細(xì)加工※1
半導(dǎo)體電路的切割、修剪、修正、標(biāo)記、薄膜（絕緣膜）的去除、加工、液晶濾色器等修復(fù)（缺陷修正）等。作為半導(dǎo)體不良分析用處理器等光學(xué)觀察部也是適合的。
?支持紅外光學(xué)系統(tǒng)※2
硅系的內(nèi)部觀察、紅外線的光譜特性分析等。
?將支持明場、暗場、簡易偏振、微分干涉觀察的機(jī)型上線
?在反射照明光學(xué)系統(tǒng)中標(biāo)準(zhǔn)裝備有開口帶光圈的籠子照明
?通過內(nèi)華德堡和長工作距離物鏡確保顯微鏡下的高操作性
※1：難以保證激光振蕩器搭載系統(tǒng)的綜合性能及安全性。
※2：另外需要紅外光源和紅外相機(jī)等。
標(biāo)準(zhǔn)接眼仕様 | 符號 | FS70Z | － | FS70ZD | FS70L | FS70L4 | |
コード No. | 378-165-1 | － | お問い合わせください | 378-166-1 | 378-167-1 | ||
ティルティング接眼仕様 | 符號 | － | FS70Z-TH | FS70ZD-TH | FS70L-TH | FS70L4-TH | |
コード No. | － | 378-165-3 | お問い合わせください | 378-166-3 | 378-167-3 | ||
| 正立像 | ||||||
観察像 | 明視野 | ● | ● |
| ● | ● | |
明暗視野 |
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| ● |
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簡易偏光 | ● | ● | ● | ● | ● | ||
微分干渉 | ● | ● | ● |
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接眼レンズ（必須オプション） | 10×（視野數(shù) 24）?15×（視野數(shù) 16）?20×（視野數(shù) 12） | ||||||
鏡筒 |
三眼鏡筒 | 視野數(shù) | 24 | ||||
眼幅調(diào)整 | ジーデントップ型、調(diào)整範(fàn)囲：51 ～ 76 mm | ||||||
ティルト角度 | 0 ～ 20°（-TH のみ）、アイポイント移動量約 114 mm | ||||||
光路 | 固定式 （接眼/ TV ＝ 50% / 50%） | 切換式 （接眼/ 直筒＝ 100%/ 0%： 0% / 100%） | 固定式 （接眼/ TV ＝ 50% / 50%） | 切換式 （接眼/ 直筒＝ 100%/ 0%：0% / 100%） | |||
カメラポートマウント部 | C マウント（アダプタ B※ 1 使用） アダプタBで同焦調(diào)整 | C マウント仕様 （同焦調(diào)整機(jī)構(gòu)） | C マウント仕様 （グリーンフィルタ切換機(jī)構(gòu)付 （同焦調(diào)整機(jī)構(gòu)） | ||||
防護(hù)フィルタ | － | レーザ光カットフィルタ內(nèi)蔵 | |||||
結(jié)像（チューブ）レンズ | 1 ～ 2 ×（可視補(bǔ)正）ズーム內(nèi)蔵 | 1×（近赤外～可視～近紫外 補(bǔ)正）內(nèi)蔵 | 1 ×（可視?紫外補(bǔ)正）內(nèi)蔵 | ||||
レーザポート | 光學(xué)系 |
－ | 倍率：1× 波長： 355/532/1064 nm | 倍率：1× 波長：266/532 nm | |||
マウント部 | YAG レーザ発振器 （基本?第2?3 高調(diào)波）搭載可 | YAG レーザ発振器 （第 2?4 高調(diào)波）搭載可 | |||||
合焦部 | 粗微動 | 一軸粗微動（粗動：3.8 mm/ 1回転、微動：0.1 mm/ 1回転） | |||||
移動量 | 50 mm、左右ハンドル | ||||||
反射照明光學(xué)系 | 明視野落射照明（ケーラ照明?開口絞り付） | ||||||
照明裝置（オプション） | 12 V、100W ファイバ照明裝置（No.378-700）/15 V、150W ファイバ照明裝置（176-316）いずれも無段階ボリューム調(diào)光式、ライトガイド長 =1500 mm | ||||||
レボルバ（必須オプション） | 調(diào)心同焦マニュアルレボルバ4穴 / 調(diào)心電動レボルバ 5 穴 | マニュアルレボルバ4 穴 / 電動レボルバ4 穴 | 調(diào)心同焦マニュアルレボルバ4 穴 / 調(diào)心電動レボルバ 5 穴 | ||||
対物レンズ （必須オプション） |
観察用 | M Plan Apo M Plan Apo HR M Plan Apo SL G Plan Apo | BD Plan Apo BD Plan Apo HR BD Plan Apo SL | M Plan Apo M Plan Apo HR M Plan Apo SL G Plan Apo NIRシリーズ | |||
レーザ加工用 | － | NUVシリーズ ※レーザ発振器の使用波長から選択 | UVシリーズ | ||||
鏡筒部積載可能質(zhì)量※ 2 | 約 14 kg（-TH：約 13.2 kg） | 約 13.9 kg（-TH：約 13.1 kg） | |||||
外観寸法 | P.27 參照 | ||||||
本體質(zhì)量 | 6.6 kg（-TH：7.4 kg） | 6.7 kg（-TH：7.5 kg） | |||||
物鏡378-166-1三豐Mitutoyo顯微鏡FS70ZD
| UCHIMURA | 102HB2-EP |
| UCHIMURA | 603AF-N |
| UCHIMURA | 103AF-N |
| TOGI | BOXTM-2001 |
| HIBLOW | KP-6035S |
| HORIBA | 6108-50B |
| IHARA | KSS08-020E |
| IHARA | SLC03-000J |
| IHARA | SNP03-000J |
| IHARA | SNP02-000J |
| IHARA | KLN10-030CE |
| IHARA | KLA10-000CE |
| hirose | HT-728-02 |
| ESTOOL | HRF150 |
| TSUBAKI | BDTM101 |
| EIKO SOKKI | T300K-007 |
| HIOKI | LR8450 |
| HIOKI | U8551 |
| shinetsu | ST-65DG |
| YOKOGAWA | 278610 |
| MITUTOYO | 468-169 |
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