BGA錫球高度和共面度檢測
半導(dǎo)體行業(yè)檢測應(yīng)用是區(qū)別缺陷、驗證器件是否符合設(shè)計標準、分離產(chǎn)品好與壞的過程，檢測不僅能確保產(chǎn)品良率，減少不必要的成本浪費，還能提供有效測試數(shù)據(jù)，改善設(shè)計與制造。
隨著芯片應(yīng)用范圍、需求量的上升，以及型號的多樣化，測試服務(wù)與設(shè)備需求大增，需測量的物理尺度、檢測的缺陷尺度也在不斷縮小，亟需性價比高的國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備替代昂貴的國外設(shè)備。
半導(dǎo)體行業(yè)檢測特點
半導(dǎo)體檢測應(yīng)用主要為提高產(chǎn)品良率，降低后道工藝成本，檢測需求具有以下特點：量大、生產(chǎn)線速度快，需要檢測設(shè)備能基于產(chǎn)線速度保證質(zhì)量；檢測要求高，對精度、穩(wěn)定性等要求遠高于其他行業(yè)；檢測范圍廣，涉及外觀缺陷、形貌尺寸、數(shù)量、平整度、焊點質(zhì)量、彎曲度等等；測被測物的3D形貌時，要求不受物體形狀、表面材質(zhì)、顏色、傾斜角度等影響。
晶圓表面缺陷檢測
通過檢測晶圓完整3D點云形貌，獲得錫球高度、直徑及高度標準差值，實現(xiàn)晶圓表面共面度檢測。
芯片引腳缺陷檢測
通過掃描芯片正面和底部，獲取芯片引腳完整的3D點云圖，快速檢測出歪斜狀態(tài)的引腳，通過排除歪斜引腳，計算出各引腳的平均寬度和高度標準偏差。
BGA錫球高度和共面度檢測
通過檢測BGA完整3D點云形貌，提取全部錫球數(shù)據(jù)，測量錫球高度、圓度和直徑等關(guān)鍵指標，計算錫球的高度標準偏差。
PCBA孔徑檢測
通過檢測PCBA的三維表面形貌數(shù)據(jù)，提取局部剖面，快速計算出孔直徑、孔深度、相對圓度等數(shù)據(jù)。
PCB輪廓檢測
通過檢測電池蓋邊沿焊接點云形貌，可清晰判斷局部焊接均勻度有差異，無斷焊、虛焊、漏焊等缺陷。
PCB共面度檢測
通過檢測焊接面點云形貌，可判斷檢測區(qū)域內(nèi)焊接無斷焊、虛焊、焊坑等缺陷，提取剖面數(shù)據(jù)，可測出局部焊接紋路最大深度。
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