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離子減薄儀原理
閱讀：2387 發布時間：2021-9-27
離子減薄儀為一種在材料科學領域普遍應用的儀器。離子減薄儀有著較快的制樣速度。可以以最小的耗費將高質量的TEM樣品制備出來。該儀器可以快捷方便地進行操作，低能量離子槍功能為其所配備，對能量敏感性樣品的減薄特別適合。液氮冷臺為其所配備，對溫度敏感性樣品的減薄特別適合。陶瓷、半導體、金屬和合金等多種材料的透射電子顯微鏡（ TEM）樣品的制備為該儀器的主要用途。
氬氣的電離采用高壓來進行，在電場是作用下，電離后的氬離子對樣品表面進行轟擊。在氬離子的持續轟擊下，樣品慢慢減薄，一直到使透射電鏡觀察要求滿足，此即為離子減薄儀的工作原理。氬離子拋光儀和離子減薄儀有著相同的原理，也是通過氬離子對樣品表面進行轟擊，使得樣品表面變得平整光滑，因此該儀器大體上不需要太多的改變。
離子減薄儀為專門為透射樣品的制備而設計的儀器（透射電鏡樣品為厚度為幾微米，直徑為三毫米的薄片）。為了使設備工作條件得到滿足。需要預處理掃描電鏡樣品，首先將樣品切割成一毫米厚的薄片，再使用砂紙打磨樣品，在打磨樣品表面的時候，需要從粗到細地對砂紙進行選擇。
透射電鏡樣品具有非常小的尺寸，需要在載片中間的小孔上粘樣品。掃描電鏡觀察的樣品尺寸要遠遠大于透射樣品。為了使效率提高，樣品一次能夠多放幾個，在樣品臺上用熱熔膠固定，之后所要做的工作就是對包括電壓、氬離子流，樣品傾角、拋光時間等工作參數進行調整。工作電壓和氬離子流的增加能夠使拋光效率有所提高，然而若這兩個參數過高，容易損傷樣品。