在目前半導(dǎo)體工廠的制造過程中，要用到約50種不同種類的特殊氣體，其中不乏易燃易爆和有毒有害氣體，如何確保生產(chǎn)過程中的氣體使用安全，一直是企業(yè)廠務(wù)系統(tǒng)關(guān)注的焦點(diǎn)。

特種氣體分類

半導(dǎo)體制造業(yè)所使用的特種氣體主要可分為四個(gè)大類。

易燃?xì)怏w

易燃?xì)怏w，是指在標(biāo)準(zhǔn)壓力下，在與空氣的混合物中按體積占13%或更少時(shí)可點(diǎn)燃的氣體或與空氣混合，不論燃燒下限值如何，可燃范圍至少為12個(gè)百分點(diǎn)的氣體。

如甲烷在空氣中的爆炸極限約為5%至15%。屬于易燃?xì)怏w有氫氣、甲烷、乙烯、乙炔等。

毒性氣體

半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的很多氣體是對(duì)人體有害有毒的。其中以砷化氫、乙硼烷、三氫化磷等氣體的毒性最大。

這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在儲(chǔ)存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體。

全氟丁二烯、八氟環(huán)戊烯、三氟化氮、氟甲烷、氯化氫、氟化氫、六氟化鎢等都屬于毒性氣體。

惰性氣體

惰性氣體本身一般不會(huì)直接對(duì)人體產(chǎn)生傷害，在氣體傳輸過程中，相對(duì)于安全上的要求不如以上氣體嚴(yán)格。

但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發(fā)生泄漏會(huì)使人窒息而造成工傷事故，屬于這類的氣體有四氟化碳、六氟化硫等。

氧化性氣體

這類氣體有較強(qiáng)的氧化性，一般同時(shí)具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有三氟化氯、氯氣等。

半導(dǎo)體特氣監(jiān)測(cè)解決方案

針對(duì)半導(dǎo)體工廠的特種氣體泄漏監(jiān)測(cè)需求，譜育科技推出了GDM系列特氣檢測(cè)儀產(chǎn)品。

GDM-2100 Series特氣檢測(cè)儀

GDM-2100 Series特氣檢測(cè)儀是一款固定泵吸式氣體檢測(cè)儀，可從本地或遠(yuǎn)端將樣氣抽取到檢測(cè)儀內(nèi)部的傳感器流路中，測(cè)量出相應(yīng)的氣體濃度，采樣距離可達(dá)30米。

?參數(shù)配置：適用于電化學(xué)、NDIR、催化燃燒測(cè)量

?測(cè)量氣體：易燃?xì)怏w、有毒有害氣體、惰性氣體、氧化性氣體

?傳輸方式：4-20mA、以太網(wǎng)、三路繼電器

?供電方式：48V PoE或24V DC

?采樣接口：1/4 inch或6mm

?采樣距離：≤30米

GDM-3100 Series特氣檢測(cè)儀

GDM-3100Series是一款便攜泵吸式特氣檢測(cè)儀，檢測(cè)儀標(biāo)配大容量鋰電池組，可在無外接電源的情況下連續(xù)進(jìn)行采樣和檢測(cè)，儀器內(nèi)置報(bào)警蜂鳴器，在檢測(cè)濃度超過報(bào)警閾值時(shí)會(huì)發(fā)出相應(yīng)的報(bào)警提示音，可在半導(dǎo)體廠務(wù)系統(tǒng)等多種應(yīng)用場(chǎng)景下使用。

?參數(shù)配置：適用于電化學(xué)、NDIR、催化燃燒測(cè)量

?測(cè)量氣體：易燃?xì)怏w、有毒氣體、惰性氣體、氧化性氣體

?傳輸方式：以太網(wǎng)

?供電方式：自帶可充電鋰電池

?電池參數(shù)：124Wh，三元鋰電池

?采樣接口：1/4 inch或6mm

?采樣距離：≤30米

行業(yè)應(yīng)用

半導(dǎo)體、微電子、光伏、光纖、TFT-LCD、LED、生物醫(yī)藥等。

應(yīng)用業(yè)績

華潤微電子、卓勝微、馳拓科技、中電科聲光電、京東方、乾照光電、大陽日酸、國家光電實(shí)驗(yàn)室等。