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目錄:深圳市科晶智達科技有限公司>>箱式爐>>400-1200℃箱式爐>> OTF-1200X-4-RTP-130快速升溫爐

快速升溫爐
  • 快速升溫爐
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參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
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具體成交價以合同協議為準
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 OTF-1200X-4-RTP-130
  • 廠商性質 生產商
  • 所在地 深圳市
屬性

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更新時間:2025-02-17 18:43:32瀏覽次數:1162評價

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產地類別 國產 價格區間 面議
儀器種類 箱式爐 應用領域 生物產業,能源,電子/電池,電氣
OTF-1200X-4-RTP-130 快速升溫爐
應用范圍:OTF-1200X-4-RTP-130 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有Φ130mm石英管和不銹鋼密封法蘭,它是專為氧化物、半導體或太陽能電池基片(最大達4英寸)的快速退火而設計,采用紅外燈管加熱最快升溫速度為50℃/秒,精度為+/-1°C。
OTF-1200X-4-RTP-130快速升溫爐 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有Φ130mm石英管和不銹鋼密封法蘭,它是專為氧化物、半導體或太陽能電池基片(最大達4英寸)的快速退火而設計,采用紅外燈管加熱最快升溫速度為50℃/秒,精度為+/-1°C。
技術參數
名稱型號快速升溫爐OTF-1200X-4-RTP-130
產品特點紅外加熱,最快升溫速率50℃/S

最大4英寸基片都可以放入退火

法蘭安裝在滑軌可以直接推拉,實現快速降溫。

可以選配壓縮波紋管在氣氛環境下冷卻

image.png

加熱爐系統輸入電源 AC 380V 50HZ,最大功率:24KW

最高工作溫度:900℃(<30min),長期工作溫度:800℃

控溫熱電偶:進口K型熱電偶,緊貼在放樣品ALN片下(ALN片為標配,可按照客戶要求定制不同材質基片)

加熱元件:紅外燈管12根短波紅外燈管,每根2KW

加熱區尺寸:Ф210mm*320mm

室溫至900℃:建議升溫速率10℃/s最大升溫速率50℃/s

降溫速率:800℃-350℃降溫速率55℃/min 350℃-200℃降溫速率5℃/min(在一個大氣壓下,樣品架在爐子內)

降溫速率:800℃-350℃降溫速率200℃/min 350℃-50℃降溫速率35℃/min(在一個大氣壓下,樣品架拉到爐體外)

標配浮子流量計:16-160ml/min

石英管外徑130mmx內徑120mmx600mmL

包含一款808P型溫度控制器(也可選配歐陸儀表恒溫精度可達±0.1℃)

PID自動控溫系統

智能化30段可編程控制

控溫精度:±1℃

默認DB9PC通信連接端口

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不銹鋼密封法蘭系統水冷密封法蘭,密封法蘭和腔體法蘭之間采用硅膠O型圈密封方式。

左端法蘭裝有機械壓力表和進氣截止閥,左邊爐體上留有進氣口,進氣時,氣體通過浮子流量計后進入法蘭進氣口,然后進入爐管內。

左端法蘭內側有石英制隔熱擋板。

右端法蘭上裝有出氣截止閥,一個KF25接口用于抽真空,一個1/4英寸雙卡套接頭用于插入熱電偶。

右端法蘭內側有石英制隔熱擋板和樣品支架,熱電偶測溫點位于樣品正下方。

右端法蘭安裝在滑軌上可以直接推拉,實現快速退火。

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水冷機(選配)型號:KJ-5000

工作電壓:AC 220V 50HZ

工作電流:1.4-2.1A,制冷量:2361Btu/h

壓縮機功率:300W,水箱容量:6L

最大流量:16L/min,凈重:24Kg


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真空系統(選配)配套機械泵,真空度可以達到10-2ttor

配套分子泵,真空度可以達到10-5ttor

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產品尺寸外形尺寸:1100*700*660mm(長*寬*高 法蘭關閉)

外形尺寸:1400*700*660mm(長*寬*高 法蘭打開)

外形尺寸:1100*700*950mm(長*寬*高 爐子打開,法蘭打開)

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重量約100kg
保質期1年(不包含爐管,氟膠O型圈和加熱元件等損耗件)
使用注意事項石英管內氣壓不可高于0.02MPa;

由于氣瓶內部氣壓較高,所以向石英管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全;

對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題,本公司概不負責。

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