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磁控濺射鍍膜常見故障及解決辦法

1.無法起輝

（1）直流電源故障，檢查直流電源；

（2）氬氣進氣量小，檢查氬氣流量計或加大氬氣進氣量；

（3）真空室清潔度不夠，清潔真空室；

（4）靶材絕緣度不夠，檢查靶是否與地短路，在通水的情況下，對地電阻應該在50kΩ以上；

（5）磁場強度不夠，檢查永磁體是否消磁；

（6）真空度太差，檢查真空系統。

2.輝光不穩

（1）電壓電流不穩，檢查電源；

（2）真空室壓力不穩，檢查氬氣進氣量及真空系統；

（3）電纜故障，檢查電纜是否連接良好。

3.成膜質量差

（1）基片表面清潔度差，清潔基片表面；

（2）真空室清潔度差，清潔真空室；

（3）基片溫度過大或過小，檢查溫控系統，校準熱電偶；

（4）真空室壓力過大，檢查真空系統；

（5）濺射功率設置不當，檢查直流電源，設置何事的設定功率。

4.濺射速率低

（1）氬氣進氣量過大或過小，觀察輝光顏色可以判定氬氣是過大還是過小，據此調整氬氣進氣量；檢修流量計；

（2）靶材過熱，檢查冷卻水流量；

（3）檢查永磁體是否消磁。