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ICP3000等離子體發射光譜儀 

技術參數
射頻發生器技術指標
輸入電源：交流220V，電流20A
輸出功率：700~1600W
調節精度：2W
工作頻率：27.12MHz
頻率穩定性：＜0.05% 
輸出功率穩定性：＜0.1%
匹配方式：自動匹配
電磁場泄漏輻射強度：距機箱30cm處電場強度E：＜0.5V/m
進樣裝置技術指標
輸出工作線圈：內徑25mm、3匝
三同心石英炬管：外徑20mm；根據中心通道大小有多種型號可選
高效進口霧化器：同心型霧化器，外徑6mm ；多型號可選，高鹽、耐HF等
霧化室：雙筒型霧化室，可以選配旋流式霧化室，外徑57.2mm 
蠕動泵：十二轉子四通道，轉速可根據需求流量設置調節（即根據進樣速度設定，直觀，）
總氬氣消耗量：氬氣總消耗量小于14L/min
氬氣流量計和載氣壓力表規格：1.等離子氣流量計（100~1000）L/h (1.6~16L/min) 
2.輔助氣流量計（6~60）L/h (0.1~1L/min) 
3.載氣流量計（6~60）L/h (0.1~1L/min)
4.載氣穩壓閥（0.2MPa）
5.冷卻水：水溫20~25℃ 流量>5L/min 水壓>0.1MPa
分光器技術指標
光柵：中階梯光柵，52.67 lp/mm，64閃耀角，采用德國肖特公司熱膨脹系數接近于零的
Zerodur材料做基底，性能更出眾
棱鏡：超純康寧紫外熔融石英，在170nm處內透過率99.6%
波長范圍：165nm~900nm
焦距：430mm
數值孔徑：F/8，超高的光通量儀器的檢出限和靈敏度
分辨率：<0.0068nm@200nm
雜散光：10000ppmCa 溶液在As189.042nm處的等效背景濃度<2ppm
光室：精密恒溫，35±0.1℃
分布式氮氣吹掃，正常吹掃2L/min，快速吹掃4L/min
檢測裝置技術指標
檢測器類型：電荷注入式檢測器（CID）
靶面尺寸：27.6mm×27.6mm，1024×1024尋址檢測單元
讀取方式：非破壞性讀取(NDRO) ，全幅讀取（FF）和任意讀取積分（RAI）
線性動態范圍：108
波長響應范圍：165nm~1000n