鍍層膜厚檢測儀Thick600  性能優(yōu)勢

長效穩(wěn)定X銅光管

半導(dǎo)體硅片電制冷系統(tǒng)，摒棄液氮制冷

采用天瑞儀器產(chǎn)品—信噪比增強器（SNE）

內(nèi)置高清晰攝像頭，方便用戶隨時觀測樣品

脈沖處理器，數(shù)據(jù)處理快速

手動開關(guān)樣品腔，操作安全方便

三重安全保護模式

整體鋼架結(jié)構(gòu)、外型時尚

Fp軟件，無標準樣品時亦可測量

鍍層膜厚檢測儀Thick600技術(shù)指標

分析范圍： Ti-U，可分析3層15個元素

分析厚度：一般0.05-30um（不同元素厚度有所不同）

分析精度：多次測量穩(wěn)定性可達1%.

工作電壓：AC 110V/220V（建議配置交流凈化穩(wěn)壓電源）

測量時間：40秒（可根據(jù)實際情況調(diào)整）

探測器分辨率：（160±5）eV

光管高壓：5-50kV

管流：50μA-1000μA

環(huán)境溫度：15℃-30℃ 

環(huán)境濕度：30%-70%

準直器：配置不同直徑準直孔，小孔徑φ0.2mm

儀器尺寸：610（L）x 355（W）x 380（H）mm

儀器重量：30kg