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ICP光譜分析儀器采用凹面反射鏡代替凸透鏡作為光學聚焦元件，解決了不同元素焦點不同而引起的色差問題，同時提高光學系統效率。

ICP光譜分析儀具有靈敏度高、檢出限低、線性范圍寬、測試速度快、應用范圍廣等眾多特點，可快速測定樣品中70余種元素。