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高精度，計算機控制，亞微米級分辨率的光學測量儀器
MarSurf WM 100
白光干涉3D測量儀器
• 合適技術，光學，反射表面，印刷電路板，半導體，以及生物組織的通用測量儀器
• 2D表面分析及測量評價
• 形貌3D分析及測量評價
• 快速測量 - 非常短的測量時間
• 4軸手動定位工作臺
• 各種物鏡選擇來適應測量物體
• 大理石平臺
• 專業的評價軟件基于MountainsMap©

供貨范圍：
• 傳感器系統：
- WLI 測量頭
- 相機768 pixel x 582 pixel， 高達48 images/s
- 100 µm 壓電晶體Z軸
- WLI 軟件模塊，軟件"Inspector"
• 大理石平臺和立柱，手動傳感器Z軸定位
• 手動定位工作臺
• 物鏡 20x0.4 DI (白光干涉)

應用范圍：

機械工程——各種金屬表面(磨加工，滾筒等)，激光紋理表面，陶瓷和塑料表面，模具表面
醫療行業——植入物，假肢和儀器的金屬，陶瓷和塑料表面
電子行業——鍍膜表面分析，電子元件和半導體測量和分析
光學行業——各種光學元件的形狀和粗糙度分析(所有材料)