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產品簡介

NANO系列低壓等離子清洗機低壓等離子技術，氣體在真空中通過獲取能量從而被激發。等離子由高能離子、高能電子以及其它反應粒子組成。由上，材料表面可以被有效的改變。

詳細介紹

NANO系列低壓等離子清洗機

低壓等離子技術，氣體在真空中通過獲取能量從而被激發。等離子由高能離子、高能電子以及其它反應粒子組成。由上，材料表面可以被有效的改變。

等離子效應可分為以下三類：

一微砂噴射：材料表面通過離子轟擊被消減

二化學反應：材料表面與離子化的氣體發生化學反應

三紫外線放射：紫外射線將長鏈碳化合物分解

NANO系列低壓等離子清洗機應用：
表面清潔(e.g. before bonding, soldering or gluing)
表面活化(e.g. before printing, varnishing or gluing)
表面蝕刻(e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE)
表面涂層(e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers)

NANO系列低壓等離子清洗機應用領域：

REM, TEM	考古	汽車制造業	橡膠制造業
微機械制造	傳感器檢測	滅菌	紡織業
醫療器械制造業	塑料制造業	研發部門	電子半導體行業

NANO系列低壓等離子清洗機規格、參數：

系列	Nano系列
控制系統	半自動型 PCCE 控制系統 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
體積	18~36L
真空腔室	圓形不銹鋼件，配有蓋子（大約 Φ 267 mm, 長 420 mm 或者長 600 mm）或者矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門（約寬 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或者 600 mm）配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門（大約Φ 240 mm, 長 400 mm 或者長 600 mm）配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門（大約Φ 240 mm, 長 400 mm 或者長 600 mm）配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門（大約Φ 240 mm, 長 400 mm 或者長 600 mm）
電極	單層或多層 RIE
樣品支架	（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃
氣源	針型閥質量流量控制器 (MFCs)
壓力計	Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）
計時器	數字型
高頻電流發生器	40 kHz: 功率 0 - 300 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 600 W 所有發生器均為 0 - * 無級可調型
真空泵	規格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要）
電源	臺式設備為 230 V，立式設備為 400 V/3 相位

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