微量氧分析儀使用的范圍非常廣泛：鋼鐵、冶金、熱電、石化、化工、焦化、PVC、多晶硅、合成氨、空分制氧、空分制氮、化工流程氧含量自動分析、電子行業保護性氣體中氧含量分析（氮氣中微量氧分析）， 磁性材料等高溫燒結爐的保護性氣體中氧含量分析、玻璃、建材行業中氧含量分析及各種行業中氧含量分析均能使用到。
微量氧分析儀是一種精密的氣體分析儀表，不同行業實際使用過程中，工況差距非常大。不同工況也對測量結果有著一定的影響，使用過程中需要注意以下的事項，來避免因工況和認為使用原因導致的測量結果不準確。
分析儀取樣管路的密閉性：
在實際測量中，樣氣壓力一般都為正壓，但樣氣中的氧是微量級的，根據法拉利定律，氧的分壓與其體積含量成正比，環境空氣中氧含量約21%，與以PPM計算濃度的樣氣的氧分壓相差一萬倍左右，因而氣樣中微量氧的分壓遠低于大氣中的氧分壓，當出現泄漏時，大氣中的氧便會從泄漏部位迅速擴散進來。
微量氧分析儀檢測的就是ppm級別的氧含量，因此配套管線必須嚴格密封，非常微小的管線泄漏（管線連接點、接頭等）都會導致環境空氣中的氧擴散進來，造成實際測量數值偏高。
其次，盡量減少管線長度和管線接頭數量，且同時保證接頭及閥門氣密性良好，管線連接完畢后，應做氣密性檢查。氣密性檢查的要求：0.25MPAm測試壓力下，30分鐘，壓降不大于0.01MPA。
最后就是使用前執行檢漏，初次啟用前必須嚴格檢漏。儀器只有在嚴密不漏的前提下才能獲得準確的數據結果。
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