1、方法：測量高電阻常用的方法是直接法和比較法.
直接法是測量加在試樣上的直流電壓和流過試樣的電流而求得試樣電阻.直接法主要有檢流計法和直流放大法（高阻計法）比較法主要有檢流計法和電橋法.
2、精度：對于大于10的10Ω的電阻,儀器誤差應在±20%的范圍內；對于不大于10的10Ω的電阻,儀器誤差應在±10%的范圍內.
3、保護：測量儀器用的絕緣材料一般只具有與被測材料差不多的性能.試樣的測試誤差可以由下列原因產生：
①外來寄生電壓引起的雜散電流通渠道.通常不知道它的大小,并且有漂移的特點；
②測量線路的絕緣材料與試樣電阻標準電阻器或電流測量裝置的并聯.
使用高電阻絕緣奢侈可以改善測量誤差,但這種方法將使儀器昂貴而又笨重,而且對高阻值試樣的測量仍不能得到滿意的結果.較為滿意的改進方法是使用保護技術,即在所有主要的絕緣部位安置保護導體,通過它截信了各種可能引起誤差的雜散電流；將這些導電聯接在一起組成保護系統,并與測量端形成一個三端網絡.當線路連接恰當時,所有外來寄生電壓的雜散電流被子保護系統分流到測量電路以下,這就可大大減少誤差的可能性.
在系統的保護端和被保護端之間存在的電解電勢,接觸電勢或熱電運勢較小時,均能補償掉,使它們在測量中不引起顯著誤差.
在電流測量中,由于被保護端和保護端之間的電阻與電流測量裝置并聯可能產生誤差,因此前者至少應為電流測量裝置輸入電阻的10倍,好為100倍.在電橋法測量中,保護端與測量端帶有大致相同的電位,但電橋中的一個標準電阻與不保護端和保護端之間的電阻并聯,因此,后者至少為標準電阻的10倍,好20倍.
在開始測試前先斷開電源和試樣的連線進行一次測量,此時設備應在它的靈敏度許可范圍內指示無窮大的電阻.可用一些已知值的標準電阻業檢查設備運行是否良好.
體積電阻率為了測業體積電阻率,使用的保護系統應能抵消由表面電流引起的誤差.對表面泄漏可忽略的試樣,在測量體積電阻時可以去掉保護.
在被保護電極與保護電極之間的試樣表面上的間隙寬度要均勻,并且在表面泄漏不致引起測量誤差的條件下間隙應盡可能窄,實際使用時最小為1MM.
表面電阻率為測定表面電阻率,使用的保護系統應盡可能地抵消體積電阻引起的影響.
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