冷鏡式精密露點儀不同水份含量的氣體在不同溫度下的鏡面上會結露。采用光電檢測技術，檢測出露層并測量結露時的溫度，直接顯示露點。鏡面制冷的方法有：半導體制冷、液氮制冷和高壓空氣制冷。采用的是直接測量方法，在保證檢露準確、鏡面制冷率和精密測量結露溫度前提下，該種露點儀可作為標準露點儀使用。
冷鏡式精密露點儀露點測量中需注意的問題：
露點儀通常在大氣環境下存放和使用，由于環境空氣中的水分含量*，可達數千到數萬×10-6 V/V（體積分數），從而給露點測量操作造成了很大的困難，使得露點測量結果往往發散性比較大。要使測量數據準確可靠，除了保證儀器具有良好的性能外，還必須注意下面幾個問題：
（1）氣路系統應具有良好的密封性，以防止外界環境空氣中的水分滲入氣路系統中，影響測量結果；
（2）如果被測氣體將直接排入大氣，則應考慮大氣中的較高含量水分在濃差作用下向測量系統內部反向擴散的問題。常用的方法為在儀器排放口連接一段適當長度的管子，其長度和管徑以不會造成背壓，影響測量腔的壓力為準；
（3）測量取樣管路應盡量短，并避免在管路上有較多的閥門和接頭以避免造成死角，從而減少可能的干擾；
（4）所使用的管道和測量腔室應選用憎水性強的材料，不銹鋼是較好的選擇，其次為聚四氟乙烯、銅和聚乙烯等，應盡量避免使用尼龍或橡膠材質的管道進行露點測量。此外，管道和腔室內壁應盡量保證光潔干凈。
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