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Micro系列測量機采用*的有限元分析設計方法的Micro系列測量機，在機械結構上具有剛性強、幾何誤差小的特點，這為三坐標測量機的提供了高精度、高性能和高穩定性的優點。

機械整體結構采用剛性結構好、質量輕的全封閉框架移動橋式結構。其結構簡單、緊湊、承載能力大、運動性能好。
固定優質花崗巖工作臺，使其具有承載能力強、裝卸空間寬闊、上下工件方便快捷等特點。
導軌采用燕尾式設計原則，可提供高精度的精確定位以及良好可靠的穩態性能。

三軸采用優質花崗巖，熱膨脹系數小，三軸具有相同的溫度特性，因而具有良好的溫度穩定性、抗實效變形能力，剛性好、動態幾何誤差變形小。
三軸均采用自潔式預載荷高精度空氣軸承組成的靜壓氣浮式導軌，軸承跨距大，抗角擺能力強，阻力小、無磨損、運動更平穩。

橫梁采用精密橫梁設計技術，重量輕、重心低、剛性強，動態誤差小，確保了機器的穩定。
采用RENISHAW反射式金屬帶狀光柵計量系統，與大多數工件具有相近的熱膨脹系數，確保了良好的重復精度。

Z軸采用氣缸平衡裝置，極大的提高了Z軸的定位精度及穩定性。
采用日本進口高精度精密過濾系統，保證壓縮空氣的過濾精度在5um，大大降低了由于高壓壓縮空氣的質量導致啟動系統損壞的情況。

三軸電機均采用進口AMETEK電機，良好的高速性能提供了高效的測量效率，優良的低速性能為測量提供了可靠的準確度。