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高精度位移測(cè)量?jī)x-激光干涉儀

昊量光電推出的PICOSCALE位移測(cè)量?jī)x產(chǎn)品是基于激光干涉方法設(shè)計(jì)的非接觸式位移和振動(dòng)測(cè)量設(shè)備。因?yàn)椴恍枰锢斫佑|，所以測(cè)量不會(huì)影響物體。這尤其適用于較小的物體，它們的動(dòng)力學(xué)很容易受到傳統(tǒng)測(cè)量探頭的影響。微位移測(cè)量?jī)x廣泛應(yīng)用于定位技術(shù)中，可以在pm分辨率下位移跟蹤定位。我們提供可用于一般用途或優(yōu)化特定的任務(wù)的各種傳感頭，如角度或差分測(cè)量。此外，我們提供用于真空、低溫或其他惡劣環(huán)境的傳感器頭。由于它們的緊湊性，它們幾乎適用于所有的設(shè)置。

除了測(cè)量位移，位移測(cè)量激光干涉儀還可用于描述運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的動(dòng)態(tài)性能。由于位置數(shù)據(jù)是在非常高的帶寬下測(cè)量的，因此可以實(shí)時(shí)準(zhǔn)確地識(shí)別振動(dòng)，并進(jìn)行詳細(xì)的振動(dòng)模態(tài)分析。

基本原理：

所有的PICOSCALE高精度位移測(cè)量?jī)x都基于邁克爾遜干涉儀，這是一種測(cè)量位移和振動(dòng)的精確方法。邁克爾遜干涉儀由一個(gè)波長(zhǎng)穩(wěn)定激光器、一個(gè)分束器、一個(gè)目標(biāo)和一個(gè)參考鏡組成。在分束器上，來(lái)自激光的光被分成兩支。一只手臂指向目標(biāo)表面，另一只手臂指向參考鏡。當(dāng)兩臂的光分別被目標(biāo)表面和參考鏡反射后，再回到分束器。這里，兩條手臂重新組合，發(fā)生了干涉。干涉信號(hào)包含目標(biāo)表面相對(duì)于參考鏡的位移信息。

高精度位移測(cè)量?jī)x-激光干涉儀