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大負載主動氣浮桌腿型光學平臺隔振器

產品簡介

明立精機的MAPS 系列產品的除振系統是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅動器而構成的組裝型除振裝置。使用1 組4 個的話，對應全自由度的振動，能發揮出優秀的除振性能、制振性能、定位性能等。

產品特點

1. MAPS 可以消除被動除振的困難頻段的振動

2. 標準的MAPS 可除振10 噸以上的設備

3. 搭載工件等移動裝置也不會搖擺

4. MAPS 具有優秀的精確定位及精密校平性能

5. MAPS 是小型易操作的組合型系列

6. MAPS 是構成精密設備的一個重要部分

應用領域

半導體制造，激光加工等

主要規格和參數表