日立掃描電鏡一種新型的電子光學儀器。它具有制樣簡單、放大倍數可調范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點。數十年來，日立掃描電鏡已廣泛地應用在生物學、醫學、冶金學等學科的領域中，促進了各有關學科的發展。
金相顯微鏡是用入射照明來觀察金屬試樣表面(金相組織)的顯微鏡，它是將光學顯微鏡技術、光電轉換技術、計算機圖像處理技術結合在一起而開發研制成的高科技產品，可以在計算機上很方便地觀察金相圖像，從而對金相圖譜進行分析，評級等以及對圖片進行輸出、打印。 金相顯微鏡是專門用于觀察金屬和礦物等不透明物體金相組織的顯微鏡。這些不透明物體無法在普通的透射光顯微鏡中觀察，因此金相和普通顯微鏡的主要差別在于前者以反射光，而后者以透射光照明。在金相顯微鏡中照明光束從物鏡方向射到被觀察物體表面，被物面反射后再返回物鏡成像。這種反射照明方式也廣泛用于集成電路硅片的檢測工作。
日立掃描電鏡（SEM）是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀性貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。日立掃描電鏡的優點是，①有較高的放大倍數，20-20萬倍之間連續可調；②有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構；③試樣制備簡單。目前的日立掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進行顯微組織性貌的觀察和微區成分分析，因此它是當今十分有用的科學研究儀器。
金相顯微鏡和日立掃描電鏡存在很大的區別，主要有以下幾方面：
一、光源不同：金相顯微鏡采用可見光作為光源，日立掃描電鏡采用電子束作為光源成像。
二、原理不同：金相顯微鏡利用幾何光學成像原理進行成像，日立掃描電鏡利用高能量電子束轟擊樣品面，激發出樣品表面的各種物理信號，再利用不同的信號探測器接受物理信號轉換成圖像信息。
三、分辨率：金相顯微鏡因為光的干涉與衍射作用，分辨率只能局限于0.2-0.5um之間。日立掃描電鏡因為采用電子束作為光源，其分辨率可達到1-3nm之間，因此金相顯微鏡的組織觀察屬于微米級分析，日立掃描電鏡的組織觀測屬于納米級分析。
四、景深：一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間，因此對樣品的表面光滑程度具有高要求，所以制樣過程相對比較復雜。日立掃描電鏡的景深則可達幾毫米。
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