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深圳市秋山貿(mào)易有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 抹茶生產(chǎn)線,粉碎研磨珠,口紅硬度計(jì) |
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- 聯(lián)系人：
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| 參考價(jià) | ￥ 10000 |
| 訂貨量 | 1000臺(tái) |
- 型號(hào)
- 品牌 其他品牌
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 所在地 深圳市
更新時(shí)間：2024-09-19 15:14:15瀏覽次數(shù)：1426
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日本thermocera高溫階段“基板加熱”1800℃
加熱，板上/下板，板旋轉(zhuǎn)，RF / DC板偏置
可以根據(jù)設(shè)備配置自由定制，Depo-Up和Down，定制板支架，板旋轉(zhuǎn)/上/下/上/下，傾斜加熱和反向?yàn)R射等各種功能都包含在該單元中。
各種加熱絲：NiCr，石墨，CCC，Inconel，鎢，鉬，SiC / PBN / PG涂層，鹵素?zé)艉推渌?0種類型
總覽基板加熱階段需要加熱階段，例如垂直提升機(jī)構(gòu)（基板支架和加熱頭中的一個(gè)或兩個(gè)），基板旋轉(zhuǎn)，RF / DC基板偏壓（反向飛濺RF / DC清潔）和加熱部分傾斜。它是具有多種功能的“多合一”組件。我們可以滿足對(duì)半導(dǎo)體制造設(shè)備和各種真空設(shè)備（氣相沉積設(shè)備，濺射，CVD設(shè)備）的所有要求。 | ||
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2寸熱舞臺(tái)_800C
晶圓托盤(pán)_提起應(yīng)用/用例?半導(dǎo)體制造，薄膜的實(shí)驗(yàn)設(shè)備，RF / DC反濺射，PECVD，RIE等 |
加熱部位規(guī)格?NiCr加熱器 | ||
各部分名稱
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日本thermocera高溫階段“基板加熱”1800℃
