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半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)/制造及無(wú)塵室用露點(diǎn)儀的特點(diǎn)
2022-11-18 閱讀(1169)
半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)/制造及無(wú)塵室用露點(diǎn)儀的特點(diǎn)
在半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)/制造過(guò)程中，去除顆粒、水分和氧氣等干擾因素是一個(gè)主要問(wèn)題。我們的露點(diǎn)計(jì)、溫濕度計(jì)和氧濃度計(jì)用于半導(dǎo)體制造、運(yùn)輸和檢查等各種過(guò)程，以確認(rèn)消除干擾。也用于除濕空氣（干燥空氣）的除濕和氮?dú)狻鍤狻⒑狻錃獾鹊臍怏w純度測(cè)量和管理。相反，一些過(guò)程需要高水分含量，在這個(gè)過(guò)程中進(jìn)行露點(diǎn)測(cè)量以保持水分含量恒定。主要使用以下產(chǎn)品。
水分測(cè)量
(1) 將水分含量控制在極小量（ppb 至 1 位數(shù) ppm）的過(guò)程
? TK-100 電容式露點(diǎn)計(jì)（氧化鋁型），可測(cè)量低露點(diǎn) -100° C (
2) 微量水分 (ppm) 由
? TE-660 露點(diǎn)儀（聚合物型）低露點(diǎn)為 -60°
C的過(guò)程控制
。（鏡面型）露點(diǎn)儀
④ 過(guò)程和無(wú)塵室需要相對(duì)濕度水平控制的
? 簡(jiǎn)單的 EE060
⑤ 需要大量水分并需要控制恒定水分的過(guò)程
? 主要在高溫和高濕度下測(cè)量 EE33 帶防結(jié)露措施的溫濕度計(jì)
氧氣濃度測(cè)量
(1) 需要通過(guò)氫氣置換等去除氧氣的工序
? 2001LC 原電池式氧氣濃度計(jì)可以確認(rèn) 1 ppm
以下
. 4100 型氧化鋯氧氣分析儀
風(fēng)速計(jì)
(1) 潔凈室和制造設(shè)備中氣流很重要的過(guò)程
? 能夠測(cè)量微風(fēng)的風(fēng)速計(jì)
主要產(chǎn)品
TK-100
在線露點(diǎn)儀
技術(shù)測(cè)量暢銷書(shū)
TE-660
露點(diǎn)變送器
聚合物露點(diǎn)儀
MBW373
最高精度
型號(hào)201/2001LC
低價(jià)機(jī)型
EE33
適用于高濕度和惡劣環(huán)境的溫濕度計(jì)
EE060/061
低價(jià)型
