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真空爐品種多，對真空系統的要求不一樣。就真空度而言，有低真空、中真空和高真空系統。下面介紹幾種常用的真空系統。

•       低真空系統

      它適用于真空度在1333～2Pa范圍的真空熱處理爐，如預抽低真空井式爐。大多以油封式旋轉機械泵為主泵的系統。

•       中真空系統

      它適用于真空度在1.333～3×10Pa范圍的真空熱處理爐。中真空系統在真空熱處理爐中應用廣泛，其通常有兩級真空泵機組組成。初級泵多采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械增壓泵（羅茨泵）或油增壓泵。

•     高真空系統

      它適用于真空度在1.333×1O～6。6×10Pa范圍的真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釬焊爐。其通常有三級真空泵機組組成，主泵通常采用油擴散泵、離子泵，初級泵大都也是采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，前級泵為機械增壓泵（羅茨泵）或油增壓泵。
      真空系統的基本參數
      真空熱處理爐的真空系統主要參數有極限真空度、工作真空度、抽氣時間、抽氣速率、漏氣率（壓升率）。
      極限真空度真空爐在空爐、冷態下所能達到的高真空度稱為極限真空度。極限真空度是考核真空爐各零部件的加工和裝配質量、真空機組的抽氣能力與極限真空、爐體的密封與漏氣和真空衛生情況的重要指標。通常，真空爐的極限真空度應低于主泵一個數量級左右。
真空爐的維修
     真空氣氛爐加熱功率的復校隨著爐子使用時間的延長，隔熱屏的熱阻變小，電熱元件揮發而電阻變大等因素的影響，應適當增加功率。在生產實際工作中，一般用經驗計 算法確定功率，圖4—15所示為石墨氈或耐火纖維氈隔熱屏真空爐的容積與加熱功率的關系曲線圖。按該圖可以確定1300。C的真空爐加熱功率。若為金屬隔 熱屏的真空爐，則查得的加熱功率需增加30％左右。
    隔熱屏的維修隔熱屏在真空爐中起隔熱、保溫作用，有時也作為固定加熱器的結構基礎。隔熱屏結構一般有四種類型：全金屬隔熱屏、夾層式隔熱屏、石墨氈隔熱屏和混合氈隔熱屏。不同的隔熱屏，在維修時應掌握其要點。
    全金屬隔熱屏一般在靠近電熱元件的1—2層選用鉬、鎢材料，外面幾層可用不銹鋼材料，厚度應盡量薄些（中、小型爐一般為o．2。0．5mm。大型爐為 o．5～1．Omm）；隔熱屏在裝配前需將表面加工成為光潔狀態，以降低黑度，增強反射效果。1300。C爐子的隔熱屏層數一般為5～6層，層間距離為 5～10mm。幾層輻射板連接的接觸面積不宜太大，以減少熱短路。隔熱屏應有脹縮量，并做成可拆式的，便于下次維修。