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產品簡介
詳細介紹
AC200程控伺服型精密勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備，它可以實現價值百萬美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業級別200瓦伺服電機系統，采用與track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實際應用意義；同類產品中的大達到50000RPM/S的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定性和*的可重復性。
兩種型號可選：AC200-SE（標準型）、AC200-PE（型）
特點：
內部緊湊設計，縮小了設備的尺寸。
7寸觸屏控制面板操作系統，更方便操作。
“密閉碗”設計可適合各種材料勻膠工藝。
標準配置轉速10000rpm，并可根據用戶需要進行定制。
采用工業級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。
機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。
排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 （以利于排風效率和勻膠均一性）。
透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。
AC200程控伺服型精密勻膠機主要性能指標：
主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）
內腔采用易清潔、耐腐蝕超高分子材料（HDPE）
旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒
轉動速度：0-10,000rpm（更高速可選）
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）
馬達旋涂轉速穩定性能誤差 ：小于±1rpm（AC200-SE）；小于±0.1rpm（AC200-PE）
轉速調節精度及重復性： 1rpm（AC200-SE）; 0.1rpm（AC200-PE）
AC200-PE另帶真空數字顯示、開關壓力調節和電子水平顯示功能
工藝時間設定： 0-3,000sec/step，時間設置精度：0.1sec
支持尺寸：碎片至200mm（8”圓晶）
旋涂作業均勻性：小于; ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）
產品外型尺寸：433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設備結構
306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結構(適于嵌入式手套箱或工作臺內)