產品特色

?  采用高級PLC模塊，工業級伺服電機；8英寸彩色觸屏控制，人機界面；

?  HDPE高分子內腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；內腔壁采用凹面設計，有效防濺；

?  可編程寫和存儲100組程序，每組100步；

?  帶真空度安全互鎖檢測功能；帶蓋子安全互鎖檢測功能；帶排廢接口；

?  具有電機進膠保護功能；管路易疏通設計；具有真空不足提示及保護功能，具有斷電后參數自動保存功能。

?  正、反轉旋涂方向可自由切換；旋涂參數可設置循環執行；速度-時間曲線實時顯示；

?  可設置用戶密碼保護功能；配置可調基座，方便調節水平；

 性能參數

?  適用晶元尺寸范圍：?5~220mm；

?  旋涂速度：0~10000rpm；轉速分辨率：1rpm；旋涂加速度：0-50000rpm/s（空載）；

?  最大旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；

?  內腔壁采用凹面防濺設計；

?  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序100步；

?  均勻性：<±3%(需去邊3mm區域測量)；

?  電源輸入：AC200-230V；