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工業激光共焦顯微鏡
  • 工業激光共焦顯微鏡
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貨物所在地:北京北京市

更新時間:2025-03-28 21:00:07

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作為Z早將激光共聚焦顯微鏡應用于工業領域的*和實踐者,OLYMPUS在激光共聚焦顯微鏡應用領域積累了獨到的技術,并推出了的產品OLS4000激光共聚焦顯微鏡 。

 作為zui早將激光共焦顯微鏡應用于工業領域的*和實踐者,OLYMPUS在工業的激光共焦應用領域積累了獨到的技術,并推出了的產品OLS4000 。

一、主機性能

*  激光自動聚焦,對焦快速而精確;

*  自動六孔物鏡換鏡轉盤,可配套多種物鏡;

*  標準配套100x100 mm 超聲波電動載物臺,可實現zui多500幅圖像自動拼圖;

*  標準配套5×、10×、20×、50×和100×物鏡,其中20×、50×和100×物鏡均為405nm復消色差物鏡;

*  水平方向分辨率可達0.12μm,Z軸方向分辨率達0.01μm;

*  激光可以實現激光共焦、激光共焦微分干涉等觀察方式;

*  激光光源為405nm半導體激光器,安全等級CLASS2;

*  普通光源為3W 高亮LED光源;

*  激光圖像感應裝置為Photo multiplier(光電倍增管);

*  微鏡調焦采用物鏡升降的方式,而非常見的載物臺升降調焦的方式,可以zui大程度保證鏡體的穩定性;

*  主機具有自動防震功能,不需搭配防震臺使用;

*  “一鍵”拍攝功能,只一個按鍵即可自動拍攝照片;

*  豐富多彩的2D/3D圖像顯示方式,3D圖像通過鼠標操控可自由旋轉和放大;

*  自動報告生成功能;

*  數字圖像處理,可以實現邊緣增強、對比增強、濾波、剖面校正、快速傅立葉變換等功能;

*  可以實現對傾斜的樣品校正水平;

*  自帶操作軟件可以實現中、英、日、德、韓五種語言選擇 
*  具備豐富的測量功能:可以實現長度、高度、面積、體積、粗糙度、膜厚、顆粒等多種測量;

二、主要功能
 

1、微觀二維形態圖像(2-D Morphologic)獲取

    以405nm短波長半導體激光為光源,通過顯微鏡內高精度掃描裝置對樣品表面的二維掃描,獲得水平分辨率高達0.12μm的表面顯微圖像,同時通過CCD采集彩色圖像信息,合成高分辨率真彩色形態(Morphologic)圖像。目前,OLYMPUS采用*開發的MEMS(微機電)工藝制造的掃描系統,不僅壽命很長,而且精度更加可靠。

 2、微觀三維形態圖像(3-D Morphologic)獲取

    通過顯微鏡高精度步進馬達驅動和0.8nm光柵控制的聚焦裝置,運用共聚焦技術(Confocal),逐層獲取樣品各個二維圖像和焦面的縱向空間坐標。經計算機處理,將各個焦平面的顯微圖像疊加,獲得樣品表面的三維真實形態(近似SEM掃描電鏡的Morphologic圖像)。

 3、微觀三維輪廓與地形圖像(3-D Profile,3-D Topography)獲取

    將掃描獲得的樣品表面各個點的三維空間坐標經計算機處理后,可獲得垂直分辨率0.01μm的三維輪廓圖像(近似三維表面形貌儀的圖像)和三維地形圖像(近似AFM 原子力顯微鏡的圖像)。

 4、多種測量功能      
    可以測量亞微米級的線寬、面積、體積、臺階、線與面粗糙度、透明膜厚,幾何參數等測量數據。可作為高精度測量設備,符合計量追溯體系(ISO)。附加金相插件,可做金相分析。
5、OLS4000具備常規顯微鏡的功能,多種觀察方法:BF,DIC。可升級到原子力顯微鏡(AFM)。

  三、應用領域

 1、材料科學

    新材料研發,缺陷分析,失效分析,傳統金相分析。在材料行業中,定位于zui的金相顯微鏡,具有分辨率高、制樣要求、同時可以做3D分析等優勢,同時由于可以增加熱臺和金相分析軟件,基本可以涵蓋金相的應用要求。

 2、摩擦學、腐蝕等表面工程

    磨痕的體積測量,粗糙度測量,表面形貌,腐蝕以及亞微米表面工程后的表面形貌。

 3、MEMS

    微米和亞微米級部件的尺寸測量(深度測量范圍:0.05μm到3mm,線寬測量范圍1μm-1.5mm),
各種工藝(顯影、刻蝕、金屬化、CVD、PVD、CMP等)后表面形貌觀察,缺陷分析,透光膜厚測量(范圍1.0mm-1.0μm)。

 4、半導體/LCD

    各種工藝(顯影、刻蝕、金屬化、CVD、PVD、CMP等)后表面形貌觀察,缺陷分析非接觸型的線寬,臺階深度等測量,及GOLD BUMP的高度與表面粗糙度。

 5、精密機械部件,電子器件

    微米和亞微米級部件的尺寸測量,各種表面處理、焊接工藝后的表面形貌觀察,缺陷分析,顆粒分析。

 6、高精密PCB制造

    1) 激光鉆孔后的孔徑測量(亞微米到微米),底部粗糙度,形貌觀察。
    2) 銅線高度(2-3μm),線寬(10-20μm或更細)
    3) 基板表面粗糙度,三維形貌。

 7、化學薄膜(高分子等)厚度測量、膜表面粗糙度測量

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