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納米單晶硅襯底2D線性納米棒基板可用于光學、生物學、化學、物理學（例如中子散射）、聚合物研究、納米壓印、微流體等各種應用。

屹持光電提供各種納米單晶硅襯底2D線性納米棒，為工業和科研提供低成本的納米光子學研究。基板可用于光學、生物學、化學、物理學（例如中子散射）、聚合物研究、納米壓印、微流體等各種應用。如果需要，可以用金屬或介電涂層涂覆基底。大多數表面特征具有略微梯形的橫截面輪廓，具有直平行臺面和溝槽。也可以使用格狀結構。提供多種特征尺寸和溝槽深度。可以在發貨之前拍攝基板的SEM圖像以驗證確切的輪廓。

表中顯示的尺寸代表目標值。周期的精度優于0.5％，而溝槽深度和線和空間的寬度可能與目標值相差15％。SEM用于說明目的。可定制更精確尺寸信息。

納米單晶硅襯底2D線性納米棒規格

描述	值
基材寬度和高度公差	標準公差±0.2 mm
通光孔徑（CA）	距基板邊緣0.5 mm（圖案可延伸至基板邊緣）
基材厚度	0.675±0.050mm
CA表面質量	P / N “-P"：60/40，最高20/10
CA表面質量	P / N “-S" ：80/100
CA外表面質量	無要求
材料	單晶硅，反應離子蝕刻

1、線性納米棒（線+間隔）

P/N	周期（nm）	凹槽深度（nm）	工作周期¹	線寬度²（nm	尺寸³（mm）
SNS-C72-1212-50-P	139	50	50％	69.5	12.5×12.5×0.7
SNS-C72-2525-50-P	139	50	50％	69.5	25×25×0.7 ⁵
SNS-C36-1212-110-P	278	110	50％	139	12.5×12.5×0.7
SNS-C24-1212-110-P	416.6	110	50％	208	12.5×12.5×0.7
SNS-C20-0808-150-D45-P	500	150	44％	220	8×8.3×0.7
SNS-C20-0808-350-D45-P	500	350	44％	220	8×8.3×0.7
SNS-C20-0808-150-D60-P	500	150	60％	300	8×8.3×0.7
SNS-C20-0808-350-D60-P	500	350	60％	300	8×8.3×0.7
SNS-C18-2009-110-D50-P	555.5	110	50％	278	20×9×0.7
SNS-C18-2009-140-D50-P	555.5	140	50％	278	20×9×0.7
SNS-C18-2009-110-D29-P	555.5	110	29％	158	20×9×0.7
SNS-C18-2009-140-D29-P	555.5	140	29％	158	20×9×0.7
SNS-C16.7-0808-150-D45-P	600	150	43％	260	8×8.3×0.7
SNS-C16.7-0808-350-D45-P	600	350	43％	260	8×8.3×0.7
SNS-C16.7-0808-150-D55-P	600	150	55％	330	8×8.3×0.7
SNS-C16.7-0808-350-D55-P	600	350	55％	330	8×8.3×0.7
SNS-C16.5-2912-190-P	606	190	50％	303	29×12×0.7
SNS-C16.5-2912-190-S 4	606	190	50％	303	29×12×0.7
SNS-C16.5-2924-190-P	606	190	50％	303	29×24.2×0.7⁵
SNS-C14.8-2410-170-P	675	170	32％	218	24×10×0.7
SNS-C14.8-2430-170-P	675	170	32％	218	24×30.4×0.7 ⁵
SNS-C14.3-0808-150-D45-P	700	150	47％	330	8×8.3×0.7
SNS-C14.3-0808-350-D45-P	700	350	47％	330	8×8.3×0.7
SNS-C14.3-0808-150-D55-P	700	150	55％	375	8×8.3×0.7
SNS-C14.3-0808-150-D55-P	700	150	55％	375	8×8.3×0.7
SNS-C12-1212-200-P	833.3	200	50％	416	12.5×12.5×0.7
SNS-C12-2525-200-P	833.3	200	50％	416	25×25×0.7⁵
SNS-C11.7-1212-200-P	855	200	50％	428	12.5×12.5×0.7
SNS-C11.7-2525-200-P	855	200	50％	428	25×25×0.7 ⁵

1 占空比表示線（臺面）寬度與周期的比率。
2 表示臺面的寬度值。
3 第二維對應于凹槽長度。
4 以“-S"結尾的是“科研"等級。它至少有80％的可用面積。可能存在高達80/100表面質量值。
5 可提供更大的自定義尺寸

2、2D納米圖案（矩形和六邊形網格）

P/N	周期（nm）	格子類型	凹槽深度	特征寬度（nm）	尺寸（mm）
S2D-24B3-0808-150-P	700	矩形	150	260	8×8.3×0.7
S2D-24B3-0808-350-P	700	矩形	350	260	8×8.3×0.7
S2D-18B3-0808-150-P	700	矩形	150	350	8×8.3×0.7
S2D-18B3-0808-350-P	700	矩形	350	350	8×8.3×0.7
S2D-24C2-0808-150-P	600	六角	150	165	8×8.3×0.7
S2D-24C2-0808-350-P	600	六角	350	165	8×8.3×0.7
S2D-18C2-0808-150-P	600	六角	150	240	8×8.3×0.7
S2D-18C2-0808-350-P	600	六角	350	240	8×8.3×0.7
S2D-24C3-0808-150-P	700	六角	150	220	8×8.3×0.7
S2D-24C3-0808-350-P	700	六角	350	220	8×8.3×0.7
S2D-18C3-0808-150-P	700	六角	150	290	8×8.3×0.7
S2D-18C3-0808-350-P	700	六角	350	290	8×8.3×0.7
S2D-24D2-0808-150-P	600	六角孔	150	180	8×8.3×0.7
S2D-24D2-0808-350-P	600	六角孔	350	180	8×8.3×0.7
S2D-18D3-0808-150-P	700	六角孔	150	200	8×8.3×0.7
S2D-18D3-0808-350-P	700	六角孔	350	200	8×8.3×0.7
S2D-24D3-0808-150-P	700	六角孔	150	290	8×8.3×0.7
S2D-24D3-0808-350-P	700	六角孔	350	290	8×8.3×0.7

rect post

hex post

hex hole

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納米單晶硅襯底2D線性納米棒規格

2、2D納米圖案（矩形和六邊形網格）

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