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WDK2010-DIC多功能微分干涉顯微鏡
主要技術參數：
1.鏡筒：鉸鏈式三目頭部 30°傾斜 270°旋轉
2. 高眼點平場目鏡: WF10X/22
3. 長工作距離工業顯微物鏡
f=200mm用全平場復消色差物鏡/M Plan APO | ||||||
物鏡數據 |
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倍率 | 2X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X(選購) |
NA | 0.055 | 0.14 | 0.28 | 0.42 | 0.55 | 0.55 |
W.D(mm) | 34 | 34 | 33.5 | 20 | 13 | 13 |
焦點距離(mm) | 100 | 40 | 20 | 10 | 4 | 2 |
分解率(µm) | 5 | 2 | 1 | 0.7 | 0.5 | 0.5 |
焦深(µm) | 91 | 14 | 3.58 | 1.6 | 0.9 | 0.9 |
WDK2010-DIC多功能微分干涉顯微鏡
4. 水平轉換器：五孔轉換器，可對每個轉換口進行調焦和調中,以消除物鏡和轉換器的制造誤差,保證測量精度。（本項已申請）
5. 落射式照明系統： 高亮度LED燈（5W）
6. 調焦結構：粗微動同軸調焦, 帶鎖緊和限位裝置， 粗動升降范圍30mm，微動格值，0.001mm*100格，數顯解析值 0.0005mm。
8. Z軸升降范圍：38mm以內，手輪轉動130mm 允許較高工件 130mm，導軌精度3+L/1000
X軸移動范圍：200mm 解析率：0.001mm 可解鎖手動快進，
Y 軸移動范圍：100mm 解析率：0.001mm 可解鎖手動快進，
測量精度(3+L/100)um (L: 被測長度,um)
落射光測量誤差≤0.08%
9. 工作臺尺寸: 360mm*250mm 玻璃板尺寸: 225mm *175mm 工作臺承重: 30kg
10.儀器外型尺寸：380mm*550mm*830mm
11. 凈重：100kg 毛重：120kg
用途:
DIC95/45分屬于無窮遠和有限遠兩個光學系統，除選配的國產物鏡外，其他的功能質量都是上乘之作，光源可選LED和光纖冷光源，主要是為了適合不同預算的客戶挑選，全部零件和優秀的光學系統均有進口零部件組裝由國外技術工程師把關調試和技術控制，整套DIC系統，物鏡上方的DIC棱鏡可作水平和上下微調，兩個方向的線偏振光分合所形成的浮雕圖像，具有強烈的立體感，極適合于芯片封裝后的品檢很微小的突起，細微劃痕的觀察，測量，這在通常光學系統是無法觀察的。
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