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● 覆蓋了190nm到2100nm的寬光譜范圍
● UVISEL VIS: 210-880 nm | UVISEL FUV: 190-880 nm | UVISEL NIR: 245-2100 nm
| UVISEL ER: 190-2100 nm | UVISEL VUV: 142-880 nm
產品簡介
詳細介紹
UVISEL遠紫外到近紅外的光譜型橢圓偏振儀
UVISEL—相調制技術
● 采用光彈性晶體來調制偏振光，而不是傳統橢偏技術中的機械偏光裝置
● 能在全譜范圍內測得非常準確的橢偏角（Y, D），從而可以對透明襯底、超
薄薄膜和折射率接近的樣品進行高精度和高靈敏度的特性分析。
● 能夠進行*的參數測量，包括極化度、各向異性以及Mueller矩陣元素
的確定。高達1毫秒/每數據點的快速數據采集速率，使得UVISEL成為動
態研究和液態表面測量的理想解決方案。
UVISEL—遠紫外至近紅外的寬光譜范圍
● 覆蓋了190nm到2100nm的寬光譜范圍
● UVISEL VIS: 210-880 nm | UVISEL FUV: 190-880 nm | UVISEL NIR: 245-2100 nm
| UVISEL ER: 190-2100 nm | UVISEL VUV: 142-880 nm
UVISEL—模塊化設計實現靈活配置
● UVISEL提供一系列的自動選件和附件來增強系統的功能
● 模塊化的設計可以離線、在線檢測甚至為減小占地面積和滿足超凈間要求而集成到一個機柜中
● 包含成熟的光譜型
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