牛津儀器利用本公司靈活而功能強大的設備開發了大量光伏（太陽能電池板）生產的工藝，并擁有關鍵技術。

光伏應用示例

• 抗反射涂層
• 明導電膜
• 基本材料
• 光子晶體
• 刻蝕透鏡
• 器件隔離
• 邊沿隔離刻蝕
• 界面缺陷鈍化

其他主要優點：
• 高真空化學氣選項可用于處理器和化學氣相沉積，降低對背景底色的污染。
• 超高頻遠程等離子體化學氣相沉積選項用于損害敏感表面沉積
• 軟件內部的功率斜坡的靈活性，盡量減少啟動過程的潛在危害
• 耐高溫襯底表選項高達800℃
• 折射率用于調整單個或多個層抗反射涂層，從而提高電池的功率
• 低針孔密度用于避免短路，特別是對大面積太陽能電池

例如光伏應用示例包括：
• 抗反射涂層
• 明導電膜
• 基本材料
• 光子晶體
• 刻蝕透鏡
• 器件隔離
• 邊沿隔離刻蝕
• 界面缺陷鈍化

原子層沉積表面鈍化
表面鈍化是晶體硅太陽能技術的關鍵所在。通過等離子原子層沉積將內置的于超薄鋁氧化層的大量負等離子發生沉積，這樣可以幾乎*消除在太陽能電池表面電子的損失。

原子層沉積透明導電氧化物（TCO）
氧化鋅是一種透明導電氧化物，以高度控制和共形的方式由原子層沉積保存
氧化鋅：鋁原子層沉積非常適合為降低電導而摻雜少量鋁的過程控制

Oxford Instruments原子層沉積性能

•經證實的太陽能電池技術的工藝性能
•為物理氣相定制的FlexAL® （進樣） and OpAL^TM （開放進樣）工具的應用
•經證實，這不僅對遠程等離子體源造成低傷害，同時還產生高密度等離子體保證膜層高質量
•通過盒到盒晶片傳送可以按比例放大

由原子層沉積為n-型晶體硅太陽能電池上前鈍化的鋁的使用轉換效率體現了顯著的改善。1由PECVD沉積的氧化鋁和氮化硅或氧化硅堆積已證明是一種有效的組合鈍化。

使用FlexAL工具高效率太陽能電池

使用FlexAL工具的高效率太陽能電池
通過在太陽能電池的前端把超薄氧化鋁層應用在n型硅的基礎上，記錄效率已驗證了PERL太陽能電池。此項研究是在埃因霍溫理工大學進行的。所有數據歸埃因霍溫理工大學所有。

長壽命的*性

生命期由一個直徑100毫米的p型晶體硅晶片映射，30納米氧化鋁等離子鈍化并由ALD沉積。

透明導電氧化物的物理氣相沉積（TCO）
銦錫氧化物沉積物理氣相沉積
濺射沉積與電阻率下降到3x10 - 4歐姆厘米，光投射高達92％。濺射沉積應用于許多光電設備進行銦錫氧化物沉積，是zui為受青睞的方法。牛津儀器公司使用*商業通用的陶瓷氧化物，專門開發了脈沖直流電磁電管工藝沉積銦錫氧化物膜。

本公司現貨產品

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YSI 550A型便攜式溶氧儀  TES-1360A溫濕度計   GM1357聲級計

PGM-7840復合氣體檢測儀   GDYS-102SJ尿素測定儀   GDYS-101ST鐵測定儀

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GDYS-101SC2臭氧測定儀  D3A激光測距儀

本月*產品

現貨美國英思科M40四合一氣體檢測儀  M40硫化氫傳感器  PGM-7840復合氣體檢測儀   PGM-6208 6合一氣體檢測儀   FGM-1100 IR 可燃氣在線監測儀

PRM-1200（DoseRAE 2）射線檢測儀   FGM-3300 環氧乙烷（ETO）氣體檢測儀

M40一氧化碳傳感器     M40氧氣傳感器   PGM-1600可燃氣體報警儀

對關鍵參數和趨勢，如壓力，氧氣/氬氣流量的比率已經確定。這個工藝可以通過調整，以得到*性能的膜片。
低電阻率下降達到3.0x10 - 4Ωcm，同時可見光到近紅外光高達> 90%的情況下的保持高透射率。

表面紋理的ICP蝕刻
產生于PlasmalabSystem100 ICP380的黑硅表面紋理可用于減少低于2％光的反射的損失。

表面分析（AES/AFM/EDX/TEM）已經證實，Si是一種由針構成基本結晶性襯底的物質。

氮化硅防反射層和鈍化層的等離子體增強化學氣相沉積

在沒有使用抗反射涂層的情況下，高達30％的陽光可以反射。工藝可以進行調節，以得到一系列的折射指數和氫含量。
折射率調整為單層或多層抗反射涂層的可提高電池效率。

非晶態硅沉積高頻的等離子體增強化學氣相沉積

天然氣化學或者動力學是非晶硅光伏應用的重要因素。牛津儀器公司等離子體技術為具可行性工藝方案提供了更廣的范疇，這些方案不僅可以影響散裝薄膜的性能，還會影響等離子物種在表面或界面的撞擊。

各種氣體的化學性質和來源選項包括射頻，超高頻射頻以及遠程或下游等離子體。

遠程等離子體增強化學氣相沉積

•各種離子源可供選擇
•5 × 1011 /平方厘米的高密度等離子體
•減少了表面離子損傷
•通過傳輸板控制離子流（已申請）
•降低溫度沉積的高品質薄膜

熱表選項
• 帶屏蔽輻射的高溫表選項可用
• 包含一個雙加熱器組裝，優化溫度均一性
• 低于40分鐘內快速升溫到700℃

軟件
工藝工具軟件
牛津儀器PC2000TM軟件以其清晰和使用簡單的特點，*，可用于工藝操作員的迅速培養，為工廠管理人員和服務人員提供了充分的儲備。控制和監控工藝工具的前端可視化界面，用于自定義配置。

工藝工具軟件的優點
能夠從單一控制界面的操作控制工具組
• 能通過相同的軟件寫入、存儲和調出工藝配方，并建成信息庫
• 用戶登錄通過密碼控制，設置不同用戶訪問權限和任務，用一鍵按鈕實現全系統功能的操作。
• 連續的系統數據注冊確保每一個晶片和進程運行數據的可追溯性
• GEM/SECS全兼容