您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
| 原子層沉積的優(yōu)點(diǎn)
| 周期 |
 | |
| 1. TMA源 | |
| 遠(yuǎn)程等離子體的優(yōu)點(diǎn) 除了具有熱的優(yōu)點(diǎn)，遠(yuǎn)程等離子體允許更廣泛地選擇用作源的化學(xué)品，同時(shí)還提高薄膜質(zhì)量:
|  |
| 2. TMA清洗 | |
| 的應(yīng)用 包括:
|
|
| 3. O2等離子體 | |
|
|
|
| 4.短時(shí)間的后期O2等離子體清洗 |
牛津儀器的工具
| 特征 | OpAL™ | FlexAL ® |
| 襯底 | zui大到200mm直徑晶片，小片可直接裝載 | zui大到200mm直徑晶片，小片需放置在一塊載片板上 |
| 鼓泡的液體和固體源 | zui多3個(gè) | zui多4個(gè) |
| zui高的源溫度 | 200oC（外套） | 200oC（烘箱和外套） |
| 晶片傳送（包括源坩堝） | 包括 | 包括 |
| 具有快速傳送系統(tǒng)的質(zhì)量流量計(jì)控制的氣體管線 | 內(nèi)部2個(gè)，外部zui多8個(gè)安裝好的氣箱 | 外部zui多8個(gè)安裝好的氣箱 |
| 等離子體 | 配件/現(xiàn)場升級 | 配件 |
| 進(jìn)樣 | 開放進(jìn)樣 | 真空進(jìn)樣室或進(jìn)樣盒 |
| 和其他工藝模塊的聯(lián)接 | 不能 | 可以-包括作為特殊配件的第三方MESC模塊 |
| 載片臺的溫度范圍 | 25ºC – 400ºC | 25ºC – 400ºC （550ºC 可選備件） |
| 橢偏儀端口 | 有 | 有 |
| Swagelok10毫秒快速脈沖閥 | 有 | 有 |
本公司現(xiàn)貨產(chǎn)品
MX6復(fù)合氣體檢測儀 現(xiàn)貨美國英思科M40四合一氣體檢測儀
TN3紅外測溫儀 fluke 59mini紅外測溫儀 照度計(jì) CENTER337 tx2000 h2氫氣檢測儀 HI93734-01余氯、總氯（Cl2）配套試劑 HI93735-01總硬度配套試劑
3011食品中心溫度計(jì) FD216測氡儀土壤取樣器 HGY2058在線電磁式酸堿濃度計(jì)
HGY2018在線PH計(jì) RE5299 旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器 AR3130電子天平 SA1200（P）空氣消毒機(jī)
YSI85-10 手提式野外水質(zhì)測量儀 DO200在線溶解氧測定儀 YSI556MPS型多參數(shù)水質(zhì)檢測儀 3M6800防毒面罩 美國華瑞PGM-2400 四合一復(fù)合式氣體檢測儀 YSI3100 電導(dǎo)率儀 HT10S煙氣黑度照相測定儀 正壓式空氣呼吸器 COD-571-1型消解裝置
PPMhtv甲醛檢測儀 AD102農(nóng)藥檢測卡 DYM3型空盒氣壓表 PROVA5637鉤式接地電阻計(jì)
PRM-3040射線檢測儀 美國MSA 10108311歐特防護(hù)眼鏡 PGM-1700 硫化氫便攜式氣體檢測儀 MIC-800-CO2便攜式二氧化碳檢測報(bào)警儀 MIC-500-CH4O 甲醇探測器
YSI 550A型便攜式溶氧儀 TES-1360A溫濕度計(jì) GM1357聲級計(jì)
PGM-7840復(fù)合氣體檢測儀 GDYS-102SJ尿素測定儀 GDYS-101ST鐵測定儀
GDYS-101SC2臭氧測定儀 GDYN-110SA農(nóng)藥殘毒快速檢測儀（10通道）
GDYS-101SC2臭氧測定儀 D3A激光測距儀
本月*產(chǎn)品
現(xiàn)貨美國英思科M40四合一氣體檢測儀 M40硫化氫傳感器 PGM-7840復(fù)合氣體檢測儀 PGM-6208 6合一氣體檢測儀 FGM-1100 IR 可燃?xì)庠诰€監(jiān)測儀
PRM-1200（DoseRAE 2）射線檢測儀 FGM-3300 環(huán)氧乙烷（ETO）氣體檢測儀
M40一氧化碳傳感器 M40氧氣傳感器 PGM-1600可燃?xì)怏w報(bào)警儀
其他推薦產(chǎn)品
更多產(chǎn)品-
¥11900
-
¥17000
-
¥40000
-
面議
-
¥44000