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良好的臺階覆蓋率
針對高質量Al(含Si/CuTi)、TiN、TiW的標準方法
Z大 4 x 200mm 或 8 x 75mm陰極
襯底置于旋轉座上
襯底座可以水冷卻/加熱(Z高400oC)
預刻蝕和射頻偏壓
參數：氣流、壓強、射頻功率
產品簡介
詳細介紹
典型應用：
- 高質量Al（含Si/Cu/Ti）
- 擴散阻擋層TiN、TiW（反應濺射）
- 電阻薄膜 （NiCr、TaN）
- 貴金屬：Au、Pt
| 特征 | System400 | System100 |
| 磁控管尺寸 | zui大200mm | zui大200mm |
| 磁控管個數 | 4 x 200mm | 單個 |
| 射頻和直流選擇 | 可以 | 可以 |
| 射頻偏壓 | 可以 | 可以 |
| 進樣 | 真空進樣 | 真空進樣 |
| 襯底 | 見手冊 | 見手冊 |
| 質量流量計控制的氣體管線 | 典型的zui大到4個 | 典型的4個 |
| 載片臺溫度范圍 | 20到300ºC |
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