牛津儀器zui近收購了Technologies and Devices公司（ TDI） 。 總部設在美國馬里蘭州銀泉的TDI是世界的發展生產新型化合物半導體，如GaN，AlN，AlGaN ，InN和InGaN的氫化物氣相外延（ HVPE ）工藝和技術的公司。 這些材料被用于各種應用，zui主要的是固態照明，短波長光電子和射頻功率電子。

TDI生產的氮化物模板

 公司提供不同襯底上的各種材料，包括如下的:

氫化物氣相外延

在HVPE工藝過程中，III族氮化物（如GaN，AlN）是由熱的氣態金屬氯化物（如GaCl或AlCl）與氨氣（NH3） （參照如下公式）反應形成的 。 金屬氯化物是熱的HCl氣體通過熱的III族金屬產生的。 所有反應都是在溫度控制的石英爐內進行的。

如，熱 HCl （氣） + Ga （液） ------> GaCl （氣）
GaCl （氣） + NH3 （氣） -------> GaN （固） + HCl （氣） + H2 （氣）

GaN或AlN模板被生長在諸如SiC或藍寶石的襯底上。 可以通過在反應過程中使用鎂來獲得p型的GaN或AlN，而通過通入氬氣作為載氣硅烷氣體來獲得n型材料。

HVPE的優勢
HVPE發展于20世紀60年代，它是*個用于制造GaN單晶外延方法。 該技術的主要特點之一是它的高生長速率（zui高可達100微米/小時），這比一般的金屬有機化學氣相沉積和分子束外延工藝要快幾乎兩個數量級。

該技術能夠生產無裂紋，高質量的GaN外延層（例如，在一個生長在藍寶石上的GaN模板中，典型的位錯密度可低至107/cm3。 ）圖1表示了藍寶石上10微米厚的GaN模板的x射線衍射。 （002）面ω掃描的半高全寬是250弧秒，這么窄的半高全寬證明材料質量十分優異。

HVPE的另一個優勢是它能夠生長用于光電子和射頻電子器件的厚的，高質量的AlGaN和AlN。TDI已經證明該技術能夠生長更厚、更高質量的用于短波長發光器件的AlGaN基有源區，它具有高輻射復合效率，這是高效率紫外發光二極管一個基本特征。和金屬有機物化學氣相沉積不一樣，HVPE工藝并不涉及金屬有機源，從而提供了一種'無碳'的外延生長環境。 此外，使用氣態的氯化氫還提供了一種雜質自清潔效應，使得外延層具有更低的背景雜質和更有效的摻雜水平。

TDI已經展示了業界*HVPE生長的多層膜的亞微米級AlGaN / GaN異質結構。

InGaN是一種用于制作GaN基藍光，綠光，白光發光二極管和藍光激光二極管的關鍵化合物半導體材料。 大多數現有的發光二極管依賴于金屬有機物化學氣相沉積來生長InGaN量子阱結構發光區。 zui近，TDI已經發展了HVPE技術來控制InGaN的生長速率到制作量子阱結構所需的非常低的水平，大約0.5至1微米/小時.

本公司現貨產品

MX6復合氣體檢測儀    現貨美國英思科M40四合一氣體檢測儀

TN3紅外測溫儀     fluke 59mini紅外測溫儀   照度計 CENTER337   tx2000 h2氫氣檢測儀   HI93734-01余氯、總氯（Cl2）配套試劑    HI93735-01總硬度配套試劑

3011食品中心溫度計  FD216測氡儀土壤取樣器  HGY2058在線電磁式酸堿濃度計

HGY2018在線PH計   RE5299 旋轉蒸發器  AR3130電子天平   SA1200（P）空氣消毒機

YSI85-10 手提式野外水質測量儀  DO200在線溶解氧測定儀   YSI556MPS型多參數水質檢測儀  3M6800防毒面罩  美國華瑞PGM-2400 四合一復合式氣體檢測儀  YSI3100 電導率儀   HT10S煙氣黑度照相測定儀  正壓式空氣呼吸器   COD-571-1型消解裝置

PPMhtv甲醛檢測儀  AD102農藥檢測卡  DYM3型空盒氣壓表 PROVA5637鉤式接地電阻計   

PRM-3040射線檢測儀  美國MSA 10108311歐特防護眼鏡   PGM-1700 硫化氫便攜式氣體檢測儀   MIC-800-CO2便攜式二氧化碳檢測報警儀    MIC-500-CH4O 甲醇探測器

YSI 550A型便攜式溶氧儀  TES-1360A溫濕度計   GM1357聲級計

PGM-7840復合氣體檢測儀   GDYS-102SJ尿素測定儀   GDYS-101ST鐵測定儀

GDYS-101SC2臭氧測定儀   GDYN-110SA農藥殘毒快速檢測儀（10通道）

GDYS-101SC2臭氧測定儀  D3A激光測距儀

本月*產品

現貨美國英思科M40四合一氣體檢測儀  M40硫化氫傳感器  PGM-7840復合氣體檢測儀   PGM-6208 6合一氣體檢測儀   FGM-1100 IR 可燃氣在線監測儀

PRM-1200（DoseRAE 2）射線檢測儀   FGM-3300 環氧乙烷（ETO）氣體檢測儀

M40一氧化碳傳感器     M40氧氣傳感器   PGM-1600可燃氣體報警儀

InGaN材料的發展將*允許使用HVPE法制造藍光和綠光發光二極管。TDIzui近已經獲得了大量的由美國國防部高級研究計劃屬VIGIL計劃資助的資金，用以發展基于InGaN-GaN材料的綠光激光器技術。