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工業電動垂直位移臺
行程范圍
20 mm
小位移增量
0.10 µm
大速度
5 mm/s
中心負載
500 N
精度，保證值
±2.0 µm
雙向重復精度，保證值
±0.6 µm
單向重復精度，保證值
±0.1 µm
編碼器分辨率
0.05 µm
原點重復精度
±0.5 µm
電纜長度
3 m
端口
DB25M
俯仰，保證值
±50 µrad
俯仰順應性
10 µrad/ Nm
滾轉順應性
10 µrad/ Nm
重量
14.5 kg
MTBF
20,000 h (25%looad, 30% duty cycle)
RoHS
Compliant
工業電動垂直位移臺
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