OAI INSTRUMENTS光功率計
OAI INSTRUMENTS是業內生產可靠并精密設備的MEMS，半導體，納米技術，潔凈室自動化和紫外線光測量的優秀制造商。OAI系統可同時用于研發和生產半導體，MEMS和微流體裝置。從光罩對準和UV光源UV電力儀表，OAI是在同行業中的者超過35年。OAI光功率計以其測量精度，重復性著稱，測量數據符合美國NIST標準，廣泛應用于半導體光刻能量測量及控制。
產品范圍：OAI INSTRUMENTS光功率計
美國OAI INSTRUMENTS曝光機、OAI INSTRUMENTS光刻機、OAI INSTRUMENTS光源、OAI INSTRUMENTS、OAI INSTRUMENTS光功率計、OAI INSTRUMENTS分析儀
主要型號：OAI INSTRUMENTS光功率計
Model 306、Model 308、Model 311、Model 316、Model 317、Model 356、Model 357、Model 358、Model 457、Model 458、Model 459
美國OAI INSTRUMENTS Model 800半自動光刻機簡介：
光刻方式：接近式，軟，硬，真空接觸式
曝光距離：0-3000μm
間隙調節步進：1um
機械精度：1.5um
光刻精度：軟接觸2um,硬接觸小于1um
美國OAI INSTRUMENTS Model 6000全自動光刻機技術規格：
光刻方式：接近式，軟，硬，真空接觸式
基底尺寸：2-12寸晶圓或者zui大200mm方形
曝光分辨率：
真空接觸:0.5-0.8um
硬接觸:0.8-1.0um
軟接觸:1.0-3.0um
接近式(20um 間隙):3.0um
曝光均勻性：優于±3%
對準精度：頂面0.5um，底面1.0um（選件）
產量：180片/小時zui大
上海連航機電科技有限公司是國內專業的進口機電產品與技術集成服務商。公司專注于為中國工業企業供應進口備品備件，提供過程控制技術咨詢，工業自動化集成設計與改造，成套設備與技術引進等工業技術應用及產品供應服務。客戶廣泛分布于全國各大地區與行業，主要有：汽車制造、機械設備制造、電力、石化、采礦、鋼鐵、有色金屬、電氣儀表制造、食品飲料、橡膠制品、醫藥生產、造紙、紡織、印刷、水泥、玻璃、環境設備、軍工等。
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