2022/10/08
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雖然疫情影響了整個地球村，但也沒能阻擋咱“大白"的腳步，飛越了半個地球，終于入駐西安771研究所啦！祝賀~
首先來給大家隆重介紹一下： “大白"是NANO-MASTER設計生產的LSC-5000型雙系統全自動無損兆聲單晶圓FSI清洗及刻蝕清洗機（背面多晶去除），她集成了2個Cassette的機械手全自動上下片功能、去離子水清洗、兆聲清洗 、化學液清洗、PVA軟刷清洗、遠程自動加液、氮氣甩干及紅外燈烘干等功能于一身的干進干出一體化系統。
下面來具體說說，集功能、智慧、美貌于一身的“大白"有哪些顯著優勢
兆聲清洗能力：采用均勻兆聲能量沉積。射頻電源提供兆聲能量，可以刻蝕清洗各種殘留物、有機無機污染物、微塵顆粒、以及多晶去除等，可以支持0.18um~0.13um的IC工藝應用。兆聲能量通過脈沖噴嘴傳遞到晶圓上，并通過化學液手臂徑向擺動，實現均勻的兆聲能量傳輸。另外，NANO-MASTER無損保證，在損傷閾值上的大能量均勻分布于晶圓表面，并實現無損清洗，真是太棒了！
化學液手臂
化學液類型及遠程自動加液：LSC-5000可支持有機溶劑：HNO3，HF，NH4OH， H2O2，HCl 等，當然也可以根據用戶需要進行配置哦，可包含*酸強堿等。遠程加液槽還能實現不同試劑按照不同比例混合、化學液濃度監控、及化學液加熱（可加熱到70°±2℃）等功能呢！遠程控制加液槽配套兆聲流量計、氣動閥門和液位傳感器，可以實現遠程全自動沖洗和加液。另外還有個貼心的小設計——化學液的分配噴嘴配套回吸閥，可以防止液體滴漏。不得不說，NANO-MASTER的設計實在太暖又太有實力了，可以省好多人力呢！
PVA刷子清洗：作為一名專業的晶圓清洗機，刷子的作用當然也是不容小覷的，“大白"擁有的是PVA超軟無損刷，支持旋轉清洗，轉速可達400RPM哦！PVA刷子可以清潔晶圓上的污點，同時它還具有自潔能力，所清洗的污染物不會黏附在PVA刷上。在清洗機休息時，還能實現去離子水定時濕潤。保證讓你在使用“大白"時沒有一點后顧之憂~
干燥甩干：晶圓清洗完后顆粒回覆怎么辦？“大白"可以實現旋轉甩干，轉速可達2000RPM，另外還可實現全自動紅外燈加熱、氮氣吹掃DIW等。
機械手自動上下片：“大白"的亮點之一，是她包含2個Cassette的機械手全自動上下載片功能，其中一個用于待刻蝕清洗的晶圓，另一個用于已處理完成的晶圓。機械手臂完成工藝后可以準確回歸到起始位置，且與刻蝕手臂擁有碰撞互鎖功能。
自動機械臂
友好的控制系統：整個上下片功能、清洗工藝、遠程加液系統均通過計算機全自動控制，具有高度的可重復性。配套Labview軟件，可以提供友好的操作界面，系統支持不限數量的菜單，每一個菜單可以支持1-100個工藝步驟，可以提供大的工藝彈性。同時，系統提供三級密碼保護的用戶訪問權限，可以實現不同的分級應用。
控制屏幕
外觀體型：這次為771量身定制的“大白"在體型上分為4大模塊：單晶圓FSI清洗系統、兆聲刻蝕及清洗系統（背面多晶去除）、機械手全自動上下片、遠程自動加液系統。這么多高大上的配置，這么豐富的功能，而“大白"的占地面積卻不足15平米！不足15平米！這對實驗室面積原本就很局促的大學、研究院而言，簡直就是福音啊！這樣緊湊精致的設計實在集合了NANO-MASTER很多工程師的智慧呢！另外大白的骨架為不銹鋼304材料，骨架外包采用防腐蝕的PVC材質。所有的液體氣體管路等都采用防酸防腐蝕材料，保證您用的放心。
設備外觀示意圖
應用廣泛：NANO-MASTER設計的LSC-5000型全自動晶圓清洗機應用實在廣泛，可實現以下清洗、剝離、去膠、顯影、刻蝕等：
?硅晶片清洗及背面多晶去除
?藍寶石晶片
?FSI 清洗
?晶片框架上的芯片
?顯示面板
?ITO 涂覆的顯示屏
?帶圖案/不帶圖案的掩模版
?掩模版基板
?帶保護膜的分劃版
?接觸式掩模版
盡管提出您的需求，NANO-MASTER專業的工程師可根據用戶的需求特別定制！我們竭力為您提供專業、滿意、周到的產品和技術服務哦！
