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1322次NANO-MASTER產品應用于LED、微機電系統、光電子學、納米技術、太陽能電池、半導體和空間模擬等。主要產品有用于SiO2/Si3N4/DLC/CNT/石墨烯等沉積的PECVD等離子體化學氣相沉積，濺射系統（RF/DC/反應濺/共濺/組合濺），熱蒸鍍和E-Beam蒸鍍，ALD原子層沉積，用于InGaN/AlGaN等氮化物沉積的PA-MOCVD，IBE/RIE/ICP/DRIE刻蝕系統，兆聲波無損濕法清洗/去膠/剝離/刻蝕系統，熱真空系統。
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