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東莞市廣聯自動化科技有限公司

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雷尼紹激光干涉儀的分類 兩種

2018-3-12　　閱讀(2041)

雷尼紹激光干涉儀的分類 兩種；

雷尼紹單頻激光干涉儀；

     從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為 激光波長(N 為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩定狀態，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。

雷尼紹激光干涉儀的分類 兩種；

雷尼紹雙頻激光干涉儀；

      在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應, 激光器產生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經分光鏡分為兩路。一路經偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為僅含有f1的光束,另一路成為僅含有f2的光束。當可動反射鏡移動時,含有f2的光束經可動反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束，Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應產生的附加頻率,正負號表示移動方向(多普勒效應是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運動時會產生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來僅含有f1的光的光束經偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf）的測量光束。測量光束和上述參考光束經各自的光電轉換元件、放大器、整形器后進入減法器相減,輸出成為僅含有±Δf的電脈沖信號。

     經可逆計數器計數后，由電子計算機進行當量換算（乘 1/2激光波長）后即可得出可動反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應用頻率變化來測量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度，也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統。利用相應附件，還可進行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。

雷尼紹激光干涉儀的分類 兩種；

雷尼紹激光干涉儀的注意事項；

、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。
、在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。
、儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發霉。
、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。
、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。
、在使用時應避免強旋、硬扳等情況，合理恰當的調整部件。
、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。

技術參數；

標準型：
線性：
測量范圍：40米（1D可選80米）
線性分辨力：
偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值
zui大范圍：800角秒
滾動角精度：1.0角秒
直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值
直線度zui大范圍：
垂直度精度：1角秒
溫度精度：0.2攝氏度

 

 



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