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機器視覺在拉單晶硅過程中的應用
閱讀：479 發布時間：2019-12-19
1 測量方法
在單晶硅爐的觀察窗外架設一CCD相機，輔以隔熱護罩及濾鏡，從斜上方對固態晶體與液態融液的交界處形成的光圈進行測量。
可根據用戶的要求定制與控制系統進行數據通訊的接口，如：將監控軟件嵌入到組態軟件中，或將數據轉化成數字或模擬信號傳送給控制器。
2 技術規格
· 可對4、6、8、12英寸的單晶硅棒進行測量。
· 可自動對引晶——放肩——收肩——等徑過程中的晶體直徑進行測量。
· 可對坩堝中的液面高度進行測量。
· 可檢測晶種（籽晶）與液面的接觸狀態。
· 測量精度 0.1 mm。（注：按標準相機配置，采集分辨率1392×1040；可根據用戶要求配置相機。）
· 測量速率：每秒15個數據
軟件特色
1) 可任意增加新的檢測品種，只需重新設置參數即可。
2) 產品配置可保存，程序運行時選擇待測產品的型號即可導入其配置參數。
3) 可手動或自動保存圖像，并可設定大保存數。
4) 可對已保存的圖像進行回放，并查看圖像處理結果。
5) 在屏幕上直觀的顯示檢測結果和狀態信息，并可在不同的視圖顯示模式中切換。
6) 人機界面簡單：只需大致調整處理區域并設置少量參數即可。
7) 參數設置具有密碼保護功能。
8) 自動軟鍵盤，方便觸摸屏操作。
9) 程序界面顯示當前產品型號。