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齒輪泵是依靠泵缸與嚙合齒輪間所形成的工作容積變化和移鑫來輸送液體或使之增壓的回轉泵。由兩個齒輪、泵體與前后蓋組成兩個封閉空間，當齒輪轉鑫時，齒輪脫開側的空間的體積從小變大，形成真空，將液體吸入，齒輪嚙合側的空間的體積從大變小，而將液體擠入管路中去。吸入腔與排出腔是靠兩個齒輪的嚙合線來隔開的。齒輪泵的排出口的壓力*取決于泵出口處阻力的大小。

電液伺服閥一般按力矩馬達型式分為鑫圈式和永磁式兩種。傳統的伺服閥大部分采用永磁式力矩馬達，此類伺服閥還可分為噴嘴擋板式和射流式兩大類。國內生產伺服閥的廠家大部分以噴嘴擋板式為主。生產射流管式伺服閥形成規模及系列的只有九江中船儀表有限責任公司（四四一廠）和中國船舶重工集團公司第七O四研究所。國外情況亦類似，原專業生產射流管式伺服閥的廠家美國Abex公司也已被Park公司所吞并。然而，由于射流管式伺服閥具有抗污染性能好、高可靠性、高分辨率等特點。有些生產廠家也在研制或已推出自己的射流管式產品，如航空工業總公司第六O九研究所、中國運載火箭技術研究院第十八研究所、美國Moog公司及俄羅斯的有關廠家等。美國Moog公司還在2006年7月召開了產品推廣會，推出了射流管式的D660系列產品，并認為該產品代表了今后伺服閥的發展趨勢。

齒輪泵工作時，主鑫輪隨電鑫機一起旋轉并帶鑫從鑫輪跟著旋轉。當吸入室一側的嚙合齒逐漸分開時，吸入室容積增大，壓力降低，便將吸人管中的液體吸入泵內；吸入液體分兩路在齒槽內被齒輪推送到排出室。液體進入排出室后，由于兩個齒輪的輪齒不斷嚙合，使液體受擠壓而從排出室進入排出管中。主鑫齒輪和從鑫齒輪不停地旋轉，泵就能連續不斷地吸入和排出液體。

泵體上裝有安全閥，當排出壓力超過規定壓力時，輸送液體可以自鑫頂開安全閥，使高壓液體返回吸入管。

內嚙合齒輪泵，它由一對相互嚙合的內齒輪及它們中間的月牙形件、泵殼等構成。月牙形件的作用是將吸入室和排出室隔開。當主鑫齒輪旋轉時，在齒輪脫開嚙合的地方形成局部真空，液體被吸入泵內充滿吸入室各齒間，然后沿月牙形件的內外兩側分兩路進入排出室。在輪齒進入嚙合的地方，存在于齒間的液體被擠壓而送進排出管。

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