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標準配置改變照射直徑的準直器＆樣品圖像觀察組件測定異物或者測定包含多個部位的樣品時，通過樣品圖像觀察組件在觀察樣品的同時，可以簡單的設定分析位置。測定小樣品或樣品中特定位置時，可以使用準直器，更改X射線照射區域。（3、5、10mmφ）10mmφ圖像（塑膠）3mmφ（金屬）形狀校正功能即使含量相同的樣品，在形狀和厚度不同時，X射線強度將發生變化，得到的定量值也會受到影響，EDX-LE通過使用BG內標法，可以排除形狀和厚度的影響，取得高精度結果。BG內標法通過散射X射線強度使各元素的X射線熒光強度標準化的一種校正方法。測定結果列表管理創建列表功能已保存數據可以用Excel形式列表顯示。

1.放置樣品

●將樣品放在分析位置，利用樣品圖像觀察裝置確認分析位置。

●選擇分析區域。

●關閉樣品室。

2.選擇分析條件／輸入樣品名稱

●一個畫面中可以同時顯示樣品圖像、選擇分析條件、輸入樣品名稱。

●點擊開始。

3.顯示分析結果

●測定結束后，畫面上將清楚顯示5種元素的［合格判定］、［含量］、［3σ（測定偏差）］。

●點擊即可顯示［結果列表］或［創建報告書］。