全反射X射線熒光(TXRF)是一種微量分析方法，特別適用于樣品量小的樣品，一次分析所需樣品量，固體材料可達μg級，液體樣品則通常少于100μL。
TXRF受自身原理限制，樣品于玻片上必須滿足薄層的要求，以消除普遍存在于EDXRF中的基體影響。因此，其樣品量明顯減少，且前處理方式也有著明顯不同。
通常，可根據樣品形態選擇合適的前處理方式，且可能需要考慮如下的幾點要求：
a. 于樣品玻片上形成均勻的薄層；
b. 待測元素及內標元素均勻分布；
c. 待測元素的富集；
d. 待測元素與干擾元素的分離；
e. 阻止樣品溶液擴散；
基于以上因素，TXRF所采用的前處理既繼承了部分常見無機元素檢測中的方法，又發展出了具有自身特色的前處理方式，如下圖：
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