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氧含量在固定污染源煙囪排口CEMS中屬于必測因子。由于CEMS中測量的氣態污染物及顆粒物的排放濃度需要帶氧折算，石化行業硫磺回收裝置基準氧含量按3%考慮（見下式）。折算后的排放濃度再上傳至環保部門，所以氧的測量尤為重要。目前氧的測量在CEMS中常見的測量原理有3種，原位氧化鋯、抽取電化學及抽取磁氧。

上述公式中：

C_折——折算成實際過量空氣系數時的污染物排放濃度

C_sn干——污染物標準狀態下干基質量濃度

C_VO2干——排放煙氣中含氧量干基體積濃度

C_O2S——污染物排放標準中規定的該行業基準含氧量

在某些石化行業硫磺回收裝置的煙囪排口中CO在煙氣中的含量非常高（有些高達1500mg/m³）^①，原位氧化鋯的測量為直接接觸煙氣測量，鋯池的溫度加熱到700℃左右。CO與氧的反應溫度為650℃，所以鋯池的加熱溫度足以將其周圍CO氧化成CO₂，消耗鋯池周圍煙氣中的部分氧。

此時氧化鋯測量的氧值就會降低，根據某個硫磺回收裝置現場反映，當時煙囪排口中煙氣氧含量人工比對為4%左右，CEMS氧化鋯測量值僅為2%，如此大的偏差，使污染物SO₂、NOx、顆粒物帶氧折算后濃度出現嚴重失真，由此可能會給企業帶來環保數據有造假的嫌疑。另外抽取電化學及抽取磁氧，由于不直接接觸煙氣，抽取的煙氣被過濾及預處理后進入分析儀測量，而分析儀中氧模塊的加熱溫度≤50℃，CO不會與氧發生反應。所以只會在稀釋抽取法的CEMS中采用原位氧化鋯測量才會出現上述問題。

賽默飛CEMS Model 200采用的就是稀釋抽取法，氧的測量為原位氧化鋯法。在硫磺回收裝置煙囪排口中CO濃度高的工況下，解決方案就是在鋯池部位進氣口前端增加氧化銅CuO過濾器，利用鋯池的加熱溫度，提前將進氣中的CO與氧化銅CuO反應^?，使CO提前轉化為穩定態的CO₂。又因為被還原的Cu會在高溫下再次緩慢氧化為CuO(因過程較緩慢對氧的測量基本無影響)，使得CuO濾芯可以再生使用。有效的降低了煙氣中CO對氧化鋯測氧的影響，使氧化鋯的測量絕對誤差不超過±1%或相對準確度≤15%（根據HJ75標準），而且氧化銅CuO過濾器還能起到過濾煙氣中煙塵的作用（大約5u的過濾精度）。

注①：煙氣中CO濃度≥500mg/m³，采用氧化鋯測量就要考慮CO的影響。