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APIX 系列超高純電子氣質譜分析儀產品彩頁

閱讀：282 發布時間：2022-02-14

結合了工藝先進的電子電路和功能強大的過程分析軟件、大氣壓離子化質譜儀（API-MS）使得 Thermo Scientific APIX 生產線提供的分析儀系統成為半導體和電子工業大宗氣體連續質量控制的又一選擇。

API-MS 為傳統質量控制技術提供了一個物有所值的替代方案，可以監測各種大宗氣體中一系列潛在雜質濃度，同時實現比氣體任何技術更低的檢測限（高達 100 倍）。

APIX 產品線提供了更多完整的雜質分析，包括：H2、CO、CO2、H2O、O2、CH4、Kr 和 Xe，以及其他需要測量的雜質。隨著 300mm 晶元制造的出現，需對氣體質量標準進行更嚴格的雜質控制，該技術將繼續成為 ppt 水平檢測的重要方法。