要沉積的材料在熱離子發射體的作用下生熱，從而產生光子，產生的光通過濾光器，到達光電倍增管，可以測量通過的波長的發射強度。薄膜沉積控制儀利用流體流過發熱物體時,發熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關系，該系列流量計的傳感器有兩只標準級，一只用來做熱源，一只用來測量流體溫度，當流體流動時,兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關系，再通過微電子控制技術，將這種關系轉換為測量流量信號的線性輸出。
　　系統主要由蒸發室、旋轉基片架、光加熱系統、電子槍及電子槍電源、石英晶體振蕩膜厚監控儀、工作氣路、抽氣系統、控制系統、安裝機臺等部分組成。體現立方整體外觀，適用于超凈間間壁隔離安裝。
　　配以的控制系統，可以在工程塑料，玻璃和金屬表面鍍制單質金屬膜、復合膜、電磁屏蔽膜、ITO膜。生產過程全部自動，薄膜沉積控制儀可以實現連續率的磁控濺射鍍膜。生產線可以根據需要配置多個真空室，采用立式或臥式，每個真空室根據需要配置不同的靶材，室與室之間采用獨立的真空抽氣系統，可以隨意調節各個真空室的氣體參數，鍍制不同的膜層，可以滿足工業化連續生產的需要。
　　該膜可以很容易地保持其形狀，即使在復雜的基表面，其的粘合強度，自粘性和濕應用的方法，使建筑安全和環保，泄漏很少一切甚至膜破裂，其良好的蠕變變形的評價，該膜可用于鋼結構屋面的臨時修復。晶體控制振蕩電路這樣當晶體在鍍膜過程中的電特性改變時，振蕩電路變得不穩定和“跳躍”至另一個諧振頻率或*故障，導致不正確的膜厚測量值。