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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
SC100-PE型勻膠機(jī)是一種超高轉(zhuǎn)速精度，并帶有真空數(shù)顯傳感器和水平數(shù)顯傳感器的高精密高檔勻膠設(shè)備。
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品介紹：
名 稱：型勻膠機(jī)
型 號(hào)：SC100-PE
原產(chǎn)地：美國(guó)，USA
應(yīng) 用：SC100-PE型勻膠機(jī)是一種超高轉(zhuǎn)速精度，并帶有真空數(shù)顯傳感器和水平數(shù)顯傳感器的高精密高檔勻膠設(shè)備。
產(chǎn)品概述：
SC100-PE型精密勻膠機(jī)是一種超高轉(zhuǎn)速、高精度的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，并帶有真空數(shù)顯傳感器和水平數(shù)顯傳感器，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。
不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級(jí)別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng)，采用與track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序，使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中的zui大達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性。
SC100-PE型勻膠機(jī)性能參數(shù)：
l 主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）
l 旋涂程序：可擴(kuò)展編輯和存貯到無限程序步驟
l 轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-15,000rpm
l 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）
l 轉(zhuǎn)速精度達(dá)到±0.1rpm，超高轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性；
l 工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step
l 時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec
l 支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圓晶）
l 旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量）
SC100-PE型勻膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：
l 的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸。
l 7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。
l on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。
l 采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
l 機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。
l 透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
l 數(shù)顯真空壓力傳感器，真空值數(shù)字顯示，壓力開關(guān)值可設(shè)置；
l 數(shù)顯水平度傳感器，實(shí)時(shí)顯示載物盤面的水平度，可通過底腳進(jìn)行調(diào)節(jié)；
l 自帶四個(gè)自動(dòng)點(diǎn)膠端口，更多端口控制可升級(jí)。
產(chǎn)品外型尺寸：
433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)