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產品簡介
EZ4小巧型勻膠機在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。
詳細介紹
產品介紹：
名 稱：高精密勻膠機
型 號：EZ4
原產地：美國，USA
應 用：在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。
產品概述：
EZ4勻膠機被設計為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物，使用工業級直流馬達和單片機控制，文本顯示器人機界面。
EZ4勻膠機被設計為結構緊湊、簡單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內操作。EZ4采用全陽極氧化鋁面板外殼，PP材料內腔，經久耐用。
性能參數：
l 支持wafer尺寸：碎片（小于1cm）至100mm（4"圓晶）
l 速度可調范圍：100-10000rpm
l 加速度可調范圍：100-10000rpm/s
l 轉速分辨率：1rpm
l 轉速精度：＜±5rpm
l 可編程5組5步程序
l 寬電壓輸入：AC100-230V
產品特點：
l 75W 直流無刷電機，單片機控制
l 高清晰文本顯示器
l 可單步和多步勻膠操作
l PP耐腐蝕內腔，可更換
l 鋁合金陽極氧化外殼，美觀大方
l 耐溶劑PC透明蓋
l 多角度定位鉸鏈設計
l HDPE真空吸盤
產品外型尺寸：
250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)