產品特點：

雖環境溫度在100-300℃，但反應氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應物的活性。 
因此，這些具有反應活性的中性物質很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發生非平衡的化學反應沉積生成薄膜。 

技術參數：

開啟式管式爐 
工作溫度：1200℃ 
爐管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用 
溫度控制器：30段高精度數字可編程溫度控制器 
加熱區長度：440mm 
恒溫區長度：150mm 
功率：AC 220V 4KW 
等離子射頻電源 
輸出功率：50-500W大可調±1%的穩定性 
RF頻率：2-150MHz的±0.005%穩定可調 
噪聲：≤55DB 
冷卻：空氣冷卻 
輸入功率：1KW AC 220V 
真空泵和閥門 
采用KF25系列波紋管和精密球閥連接 
真空度可達10-3torr 
數字真空壓力表可直觀的顯示數值 
質量流量計 
內部裝有高精度數字顯示質量流量計可準確的控制氣體流量 
氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02% 
一個氣體攪拌罐上安裝了液體釋放閥的底部情況 
不銹鋼針閥安裝在左側可手動控制混合氣體輸入的數量 
進氣口：采用標準雙卡套接頭

外型尺寸：

爐體：550*380*520mm 
供氣及真空系統：600*600*597mm 
凈重：120KG

產品證書：CE認證