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當前位置：上海添時科學儀器有限公司>>制膜設備>>磁控濺射鍍膜>> GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀
主要特點：
1、設有真空表、濺射電流表，可實時監控工作狀態。
2、通過調節濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得最佳鍍膜效果。
3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。
4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。
5、根據電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
6、濺射頭采用Peltier制冷技術，可得到高性能、精細顆粒的涂層。
7、可用水冷濺射頭、水冷載物臺。
技術參數：
| 產品名稱 | GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀 | |
| 產品型號 | GSL-1100X-SPC-16M | |
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設備需選配自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通風裝置：不需要 | |
| 主要參數 | 1、靶：?50mm 2、真空室：?160mm×120mm 3、真空度：≤4×10-2mbar 4、max電流：50mA（可選100mA） 5、可設定極*：9999s 6、微型真空氣閥：連接?3mm軟管 7、極限電壓：1600V DC 8、機械泵：2L/s | |
| 產品規格 | 尺寸：360mm×300mm×380mm。 | |
| 標準配件 | 1、金靶材1個 2、進氣針閥1個 3、保險絲2個 | |
| 可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | |
