全自動清洗機(jī)

清洗機(jī)，用于沖洗過濾液壓系統(tǒng)在制造、裝配、使用過程及維護(hù)時生成或侵入的污染物；也可以適用于對工作油液的定期維護(hù)過濾，提高清潔度，避免或減少因污染而造成的故障，從而保證液壓系統(tǒng)設(shè)備的高性能、高可靠度和長壽命。

產(chǎn)品介紹
適用于2至6英寸晶圓的清洗工藝
6寸以下wafer全自動清洗工藝處理
適合產(chǎn)能要求較高的批量產(chǎn)線
可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊

產(chǎn)品參數(shù)

最大設(shè)備配置:4套清洗單元
旋轉(zhuǎn)速度范圍:20-5000rpm
加速度范圍:20-5000rpm/s
清洗噴嘴類型:NANO Spray
配置CO2除靜電系統(tǒng)、等離子靜電消除器等
流量控制:浮子式流量計(可選超聲波流量計)
設(shè)備尺寸:1860mm(W)x1700mm(D)x2100mm(H)